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高精度微机械电容式加速度计温度补偿与闭环系统优化研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
1.绪论第11-27页
    1.1 微机械加速度计概述第11-13页
        1.1.1 微机械加速度计的定义及特点第11-12页
        1.1.2 微机械加速度计的分类第12-13页
    1.2 微机械加速度计的工作原理和性能指标第13-16页
        1.2.1 加速度计动力学模型第13-14页
        1.2.2 微机械加速度计的性能指标第14-15页
        1.2.3 Allan方差第15-16页
    1.3 微机械加速度计温度补偿技术综述第16-20页
    1.4 微机械加速度计闭环技术综述第20-24页
        1.4.1 两种主流闭环方式的比较第20-21页
        1.4.2 两种主流闭环方式的实际应用第21-24页
    1.5 论文的意义及主要工作第24-27页
2.闭环电容式微机械加速度计的原理及系统电路第27-39页
    2.1 微机械加速度计的系统结构第27页
    2.2 变面积电容式加速度计器件结构第27-29页
    2.3 力平衡反馈电路第29-30页
    2.4 两种电容检测电路及系统实现第30-37页
        2.4.1 双路载波调制型CV电路及其系统第30-33页
        2.4.2 环形二极管解调型CV电路及其系统第33-37页
    2.5 本章小结第37-39页
3.一种实时的闭环电容式加速度计温度补偿方案第39-53页
    3.1 基于谐振频率的实时温度补偿方案原理第40-43页
    3.2 谐振状态下加速度计的Simulink仿真结果第43-46页
    3.3 温度补偿算法的实测结果第46-51页
    3.4 本章小结第51-53页
4.基于环形二极管检测方案的加速度计闭环研究第53-71页
    4.1 加速度计系统的闭环特性理论建模第54-55页
    4.2 加速度计系统的开环特性测量方法第55-59页
    4.3 两种PI校正电路的设计第59-70页
        4.3.1 控制系统中典型环节的频率特性第59-62页
        4.3.2 一级PI校正电路第62-66页
        4.3.3 二级PI校正电路第66-70页
    4.4 本章小结第70-71页
5.基于环形二极管检测方案的加速度计系统测试与分析第71-81页
    5.1 加速度计闭环带宽测试第71-73页
    5.2 加速度计开环线性度与零偏测试第73-77页
    5.3 加速度计闭环线性度与零偏测试第77-80页
    5.4 本章小结第80-81页
6.总结与展望第81-83页
    6.1 总结第81-82页
    6.2 展望第82-83页
参考文献第83-85页
作者简历及在学期间所取得的科研成果第85页

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