| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1.绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 微机械加速度计概述 | 第11-13页 |
| 1.1.1 微机械加速度计的定义及特点 | 第11-12页 |
| 1.1.2 微机械加速度计的分类 | 第12-13页 |
| 1.2 微机械加速度计的工作原理和性能指标 | 第13-16页 |
| 1.2.1 加速度计动力学模型 | 第13-14页 |
| 1.2.2 微机械加速度计的性能指标 | 第14-15页 |
| 1.2.3 Allan方差 | 第15-16页 |
| 1.3 微机械加速度计温度补偿技术综述 | 第16-20页 |
| 1.4 微机械加速度计闭环技术综述 | 第20-24页 |
| 1.4.1 两种主流闭环方式的比较 | 第20-21页 |
| 1.4.2 两种主流闭环方式的实际应用 | 第21-24页 |
| 1.5 论文的意义及主要工作 | 第24-27页 |
| 2.闭环电容式微机械加速度计的原理及系统电路 | 第27-39页 |
| 2.1 微机械加速度计的系统结构 | 第27页 |
| 2.2 变面积电容式加速度计器件结构 | 第27-29页 |
| 2.3 力平衡反馈电路 | 第29-30页 |
| 2.4 两种电容检测电路及系统实现 | 第30-37页 |
| 2.4.1 双路载波调制型CV电路及其系统 | 第30-33页 |
| 2.4.2 环形二极管解调型CV电路及其系统 | 第33-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 3.一种实时的闭环电容式加速度计温度补偿方案 | 第39-53页 |
| 3.1 基于谐振频率的实时温度补偿方案原理 | 第40-43页 |
| 3.2 谐振状态下加速度计的Simulink仿真结果 | 第43-46页 |
| 3.3 温度补偿算法的实测结果 | 第46-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 4.基于环形二极管检测方案的加速度计闭环研究 | 第53-71页 |
| 4.1 加速度计系统的闭环特性理论建模 | 第54-55页 |
| 4.2 加速度计系统的开环特性测量方法 | 第55-59页 |
| 4.3 两种PI校正电路的设计 | 第59-70页 |
| 4.3.1 控制系统中典型环节的频率特性 | 第59-62页 |
| 4.3.2 一级PI校正电路 | 第62-66页 |
| 4.3.3 二级PI校正电路 | 第66-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 5.基于环形二极管检测方案的加速度计系统测试与分析 | 第71-81页 |
| 5.1 加速度计闭环带宽测试 | 第71-73页 |
| 5.2 加速度计开环线性度与零偏测试 | 第73-77页 |
| 5.3 加速度计闭环线性度与零偏测试 | 第77-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 6.总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 总结 | 第81-82页 |
| 6.2 展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第85页 |