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大功率LED散热用陶瓷金属基板的制备与性能研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-6页
1 绪论第10-28页
    1.1 引言第10-12页
    1.2 LED 散热问题简介第12-18页
        1.2.1 LED 基本机理第12-13页
        1.2.2 LED 散热问题及概述第13-15页
        1.2.3 LED 散热基板第15-16页
        1.2.4 陶瓷基板金属化国内外研究现状第16-18页
    1.3 AlN 陶瓷基板化学镀铜技术概述第18-22页
        1.3.1 化学镀铜技术发展概况第18-19页
        1.3.2 化学镀铜原理第19-21页
        1.3.3 化学镀铜工艺流程及特点第21页
        1.3.4 化学镀铜的国内外研究现状第21-22页
    1.4 LED 散热仿真模拟概述第22-26页
        1.4.1 建模仿真简介第22-23页
        1.4.2 仿真模拟工具选择第23-24页
        1.4.3 仿真模拟国内外研究现状第24-26页
    1.5 本论文的研究意义及内容第26-28页
        1.5.1 研究目的及意义第26-27页
        1.5.2 研究内容第27-28页
2 AlN 陶瓷镀铜基板的制备第28-44页
    2.1 AlN 陶瓷基板表面化学镀铜的探索第28-36页
        2.1.1 实验材料及装置第28-29页
        2.1.2 化学镀铜液的选择和配制第29-30页
        2.1.3 AlN 陶瓷基板化学镀铜前处理探索第30-32页
        2.1.4 不同活化时间处理对镀层性能的影响第32-35页
        2.1.5 AlN 陶瓷基板化学镀铜探索第35-36页
        2.1.6 AlN 陶瓷基板化学镀铜工艺参数确定第36页
    2.2 响应曲面法实验方案设计第36-42页
        2.2.1 多因素实验设计方法概述第36-37页
        2.2.2 响应曲面简介第37-39页
        2.2.3 试验参数的选择第39页
        2.2.4 试验指标第39-41页
        2.2.5 响应曲面实验表设计第41-42页
        2.2.6 样品的表征与检测第42页
    2.3 AlN 陶瓷基板化学镀铜第42页
    2.4 小结第42-44页
3 AlN 陶瓷镀铜基板性能分析及工艺参数优化第44-62页
    3.1 实验结果与分析第44-54页
        3.1.1 表面形貌及镀层厚度第44-45页
        3.1.2 镀层成分第45页
        3.1.3 镀层结构第45-46页
        3.1.4 结合力分析第46-51页
        3.1.5 电导率分析第51-54页
    3.2 最优工艺参数的确定第54页
    3.3 最优工艺参数的验证第54页
    3.4 退火处理对镀层性能的影响第54-60页
        3.4.1 对表面形貌的影响第54-55页
        3.4.2 对镀层结构的影响第55-56页
        3.4.3 对镀层致密度的影响第56-57页
        3.4.4 对结合力的影响第57-58页
        3.4.5 对电导率的影响第58-59页
        3.4.6 对热导率的影响第59-60页
    3.5 小结第60-62页
4 AlN 陶瓷镀铜基板的简单封装测试及仿真模拟第62-78页
    4.1 封装简述第62-63页
    4.2 封装 LED 的热电性能测试第63-65页
        4.2.1 热阻测量第63-64页
        4.2.2 红外热像分析温度分布第64-65页
    4.3 LED 热电性能的 Comsol 仿真模拟第65-71页
        4.3.1 LED 仿真模拟原理第65-66页
        4.3.2 仿真模拟方法与步骤第66-67页
        4.3.3 封装 LED 的热电特性仿真模拟第67-71页
    4.4 GaN 芯片的热电特性优化仿真模拟研究第71-77页
        4.4.1 透明导电薄膜(TCLs):铟锡氧化物第72-73页
        4.4.2 透明导电薄膜(TCLs):石墨烯(Gr)第73-74页
        4.4.3 透明导电薄膜(TCLs):铟锡氧化物(ITO)+ 石墨烯(Gr)第74-75页
        4.4.4 电极掩埋深度的影响第75-77页
    4.5 小结第77-78页
5 结论与展望第78-80页
    5.1 主要结论第78-79页
    5.2 本文创新点第79页
    5.3 后续工作展望第79-80页
致谢第80-82页
参考文献第82-90页
附录第90-93页
    A. 作者在攻读学位期间发表的论文第90-91页
    B. 响应曲面法实验安排表及实验结果记录表第91-93页
    C. LED 材料的物理属性(电导率、热导率、密度、相对介电常数等)第93页

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