化学吸附仪控制系统设计与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-12页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10页 |
| 1.2 研究现状及意义 | 第10-11页 |
| 1.3 本论文的主要内容和章节安排 | 第11-12页 |
| 1.3.1 本论文的主要内容 | 第11页 |
| 1.3.2 本论文的章节安排 | 第11-12页 |
| 第二章 系统需求分析与方案论证 | 第12-17页 |
| 2.1 需求分析 | 第12-13页 |
| 2.2 方案论证 | 第13-17页 |
| 2.2.1 主控 | 第13-14页 |
| 2.2.2 气体质量流量控制器 | 第14-15页 |
| 2.2.3 温控器 | 第15-16页 |
| 2.2.4 模数转换器 | 第16-17页 |
| 第三章 化学吸附仪控制系统相关技术介绍 | 第17-29页 |
| 3.1 化学吸附仪功能原理分析 | 第17页 |
| 3.2 气体质量流量控制器(MFC)通讯协议说明 | 第17-19页 |
| 3.2.1 MFC质量流量控制器的通信设置 | 第17-18页 |
| 3.2.2 MFC质量流量控制器的指令格式 | 第18-19页 |
| 3.3 六通阀的串行控制 | 第19-21页 |
| 3.3.1 六通阀初始化 | 第19页 |
| 3.3.2 六通阀的串行控制 | 第19-21页 |
| 3.4 ADS1211的寄存器说明 | 第21-29页 |
| 3.4.1 指令寄存器(INSR) | 第23-24页 |
| 3.4.2 命令寄存器(CMR) | 第24-27页 |
| 3.4.3 数据输出寄存器(DOR) | 第27-28页 |
| 3.4.4 偏移校准寄存器(OCR) | 第28页 |
| 3.4.5 满量程校准寄存器(FCR) | 第28-29页 |
| 第四章 化学吸附仪控制系统设计 | 第29-54页 |
| 4.1 硬件设计 | 第29-36页 |
| 4.1.1 热导池电压控制模块 | 第29-30页 |
| 4.1.2 信号放大模块 | 第30页 |
| 4.1.3 基准电压模块 | 第30-31页 |
| 4.1.4 数据采集模块 | 第31页 |
| 4.1.5 主控器模块 | 第31-32页 |
| 4.1.6 USB模块 | 第32-34页 |
| 4.1.7 网络模块 | 第34页 |
| 4.1.8 电源模块 | 第34-36页 |
| 4.2 软件设计 | 第36-54页 |
| 4.2.1 上位机软件设计 | 第37-43页 |
| 4.2.2 控制端软件设计 | 第43-54页 |
| 第五章 系统调试及结果分析 | 第54-61页 |
| 5.1 系统模块调试 | 第54-57页 |
| 5.2 结果分析 | 第57-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-65页 |
| 6.1 取得的研究成果 | 第61-64页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 在学期间的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
