| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 扫描探针显微镜的研究进展 | 第15-39页 |
| 1.1 引言 | 第15-16页 |
| 1.2 扫描隧道显微镜 | 第16-20页 |
| 1.2.1 量子理论中的隧穿效应 | 第16-18页 |
| 1.2.2 扫描隧道显微镜的工作原理 | 第18-20页 |
| 1.2.3 目前国际上扫描隧道显微镜的研制情况 | 第20页 |
| 1.3 磁力显微镜 | 第20-26页 |
| 1.3.1 磁力显微镜简介 | 第20-23页 |
| 1.3.2 磁力显微镜的工作原理 | 第23-25页 |
| 1.3.3 目前国际上磁力显微镜的研制情况 | 第25-26页 |
| 1.4 原子力显微镜 | 第26-29页 |
| 1.4.1 原子力显微镜简介 | 第26-27页 |
| 1.4.2 非接触模式调频原子力显微镜的工作原理 | 第27-29页 |
| 1.5 几款典型粗逼近马达的工作原理 | 第29-34页 |
| 1.5.1 剪切压电叠堆马达 | 第29-31页 |
| 1.5.2 Bettle型马达 | 第31-32页 |
| 1.5.3 惯性压电马达 | 第32-34页 |
| 参考文献 | 第34-39页 |
| 第二章 自制的全低压超高分辨率扫描隧道显微镜 | 第39-57页 |
| 2.1 引言 | 第39页 |
| 2.2 镜体结构及步进马达设计 | 第39-42页 |
| 2.2.1 镜体结构 | 第39-40页 |
| 2.2.2 步进马达 | 第40-42页 |
| 2.3 前置放大电路 | 第42-49页 |
| 2.3.1 自制的10飞安电流分辨率的前置放大电路 | 第43-46页 |
| 2.3.2 自制的双通道差分抗干扰电流放大电路 | 第46-49页 |
| 2.4 减震系统 | 第49-53页 |
| 2.4.1 震动的基本原理 | 第49-52页 |
| 2.4.2 具体减震措施 | 第52-53页 |
| 2.5 调试结果与讨论 | 第53-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第三章 自制压阻微悬臂探针磁力显微镜 | 第57-65页 |
| 3.1 引言 | 第57页 |
| 3.2 磁力显微镜镜体结构 | 第57-58页 |
| 3.3 自检测压阻微悬臂探针磁力显微镜 | 第58-61页 |
| 3.4 调试结果与讨论 | 第61-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第四章 自制非接触模式的调频原子力显微镜 | 第65-77页 |
| 4.1 引言 | 第65页 |
| 4.2 原子力显微镜镜体结构 | 第65-67页 |
| 4.3 自制非接触模式调频原子力显微镜 | 第67-73页 |
| 4.4 调试结果与讨论 | 第73-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 第五章 SMA组合显微镜系统 | 第77-89页 |
| 5.1 引言 | 第77-78页 |
| 5.2 SMA组合显微镜镜体结构 | 第78-80页 |
| 5.3 SMA组合显微镜的工作原理 | 第80-85页 |
| 5.4 调试结果与讨论 | 第85-86页 |
| 5.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-89页 |
| 第六章 SMA组合显微镜系统工作所需极端条件的获得 | 第89-105页 |
| 6.1 引言 | 第89页 |
| 6.2 SMA组合显微镜所需低温冷环境的获得 | 第89-98页 |
| 6.3 SMA组合显微镜所需超高真空环境的获得 | 第98-101页 |
| 6.4 本章小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-105页 |
| 第七章 总结与展望 | 第105-109页 |
| 致谢 | 第109-111页 |
| 在读期间发表的论文及取得的研究成果 | 第111-113页 |