| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 石墨烯-硅混合光波导的国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 器件制备工艺 | 第16-22页 |
| 2.1 硅基光子器件的制备 | 第16-17页 |
| 2.2 石墨烯制备、转移与图形化的方法 | 第17-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 基于硅基微环谐振腔测量石墨烯线性吸收的研究 | 第22-41页 |
| 3.1 硅基微环谐振腔光传输特性分析 | 第22-25页 |
| 3.2 石墨烯的光电特性 | 第25-28页 |
| 3.3 测量石墨烯线性吸收系数的传统方法 | 第28-29页 |
| 3.4 基于硅基微环谐振腔精确测量石墨烯线性吸收系数的方法 | 第29-35页 |
| 3.5 硅波导上单层石墨烯线性吸收系数的模拟计算 | 第35-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 基于石墨烯-硅混合光波导的饱和吸收 | 第41-43页 |
| 4.1 石墨烯-硅混合光波导的饱和吸收特性 | 第41-42页 |
| 4.2 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 总结与展望 | 第43-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第50页 |