NSRL计量线高次谐波抑制和抑制镜对的设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·U26 计量光束线站简介 | 第10-13页 |
| ·高次谐波 | 第13-15页 |
| ·高次谐波的来源 | 第13页 |
| ·高次谐波对实验结果的影响 | 第13页 |
| ·高次谐波的抑制 | 第13-15页 |
| ·光源的偏振性 | 第15-16页 |
| ·同步辐射光源的偏振特性 | 第15页 |
| ·偏振实验的意义 | 第15-16页 |
| ·选题意义和内容安排 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 5-40nm 波段高次谐波的抑制的测试 | 第19-29页 |
| ·高次谐波的抑制方法 | 第19-20页 |
| ·实验方法 | 第20-23页 |
| ·计量光束线站SGM 分支机构 | 第20-22页 |
| ·实验的方法 | 第22-23页 |
| ·实验的结果 | 第23-27页 |
| ·无滤片高次谐波分布的测量结果 | 第23-24页 |
| ·添加滤片后高次谐波含量的测量结果 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-29页 |
| 第三章 高次谐波抑制镜对理论设计 | 第29-42页 |
| ·IMD 光学仿真软件简介 | 第29-30页 |
| ·抑制镜对的理论设计 | 第30-40页 |
| ·三镜抑制镜对的结构示意图 | 第30-32页 |
| ·镀膜厚度对实验结果的影响 | 第32-33页 |
| ·短波段高次谐波抑制镜对的理论设计 | 第33-36页 |
| ·兼具高次谐波抑制的三镜偏振器的理论设计 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-42页 |
| 第四章 高次谐波抑制镜对的机构设计 | 第42-51页 |
| ·角度微调机构的设计 | 第42-46页 |
| ·中心镜掠入射角度为10°的抑制镜对 | 第42-44页 |
| ·中心镜入射角度为30°的抑制镜对 | 第44-46页 |
| ·真空室的设计 | 第46-48页 |
| ·真空室厚度的计算 | 第46-48页 |
| ·法兰与密封 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第五章 总结展望 | 第51-53页 |
| ·本文的主要工作 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
