| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 SF_6分解组分监测意义及方法 | 第9-11页 |
| 1.2 气体传感器技术 | 第11-19页 |
| 1.2.1 气体传感器种类 | 第11-14页 |
| 1.2.2 气体传感器气敏材料 | 第14-15页 |
| 1.2.3 气敏传感材料制备工艺 | 第15-18页 |
| 1.2.4 气体传感器的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 气敏材料的表面改性技术 | 第19-21页 |
| 1.3.1 贵金属沉积改性技术 | 第19页 |
| 1.3.2 等离子体改性技术 | 第19-21页 |
| 1.4 二氧化钛纳米材料 | 第21-24页 |
| 1.4.1 二氧化钛纳米材料应用领域 | 第22-23页 |
| 1.4.2 二氧化钛纳米材料表面改性研究现状 | 第23-24页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第24-27页 |
| 2 二氧化钛纳米管的制备和改性平台及仿真理论 | 第27-37页 |
| 2.1 本征二氧化钛纳米管的制备及改性 | 第27-31页 |
| 2.1.1 本征二氧化钛纳米管制备 | 第27-28页 |
| 2.1.2 贵金属沉积改性方案 | 第28-29页 |
| 2.1.3 等离子体改性方案 | 第29-31页 |
| 2.2 材料的表征方法 | 第31-32页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜 | 第31页 |
| 2.2.2 X射线衍射仪 | 第31-32页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱仪 | 第32页 |
| 2.3 气敏特性测试平台 | 第32-33页 |
| 2.3.1 平台概述 | 第32-33页 |
| 2.3.2 气敏特性参数 | 第33页 |
| 2.4 仿真的理论基础 | 第33-36页 |
| 2.4.1 密度泛函理论 | 第33-34页 |
| 2.4.2 计算仿真软件 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 金沉积二氧化钛纳米管对特征组分的响应特性研究 | 第37-49页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 金沉积二氧化钛纳米管气敏特性 | 第37-38页 |
| 3.3 金沉积二氧化钛纳米管第一性原理仿真 | 第38-46页 |
| 3.3.1 表面吸附模型的建立 | 第38-40页 |
| 3.3.2 三种硫化物分子在沉积金原子表面吸附 | 第40-44页 |
| 3.3.3 与未改性二氧化钛晶面仿真结果对比 | 第44-46页 |
| 3.4 气敏特性的微观解释 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 4 氮掺杂二氧化钛纳米管对特征组分的响应特性研究 | 第49-67页 |
| 4.1 二氧化钛纳米管等离子体改性及表征分析 | 第49-53页 |
| 4.1.1 等离子体改性参数 | 第49-51页 |
| 4.1.2 改性二氧化钛纳米管表面表征 | 第51-53页 |
| 4.2 改性二氧化钛纳米管对三种硫化物的响应特性实验 | 第53-56页 |
| 4.2.1 对三种硫化物的响应特性 | 第53-54页 |
| 4.2.2 对低浓度的三种硫化物的气敏响应 | 第54-55页 |
| 4.2.3 重复性气敏实验研究 | 第55-56页 |
| 4.3 二氧化钛纳米管对三种硫化物吸附的第一性原理仿真 | 第56-63页 |
| 4.3.1 仿真计算方法的选择 | 第56-57页 |
| 4.3.2 掺杂模型的建立 | 第57-58页 |
| 4.3.3 吸附过程的参数计算 | 第58-63页 |
| 4.4 气敏特性的微观解释 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 结论与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 主要结论 | 第67-68页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-79页 |
| 附录 | 第79-80页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第79页 |
| B. 作者在攻读学位期间获得的国家发明专利 | 第79-80页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第80页 |
| D. 作者在攻读学位期间获得的奖励 | 第80页 |