| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题的研究目的与意义 | 第9页 |
| 1.2 锂离子电池的工作原理 | 第9-10页 |
| 1.3 锂离子电池的材料研究概况 | 第10-15页 |
| 1.3.1 正极材料的研究概况 | 第10-12页 |
| 1.3.2 电解液的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.3.3 负极材料的研究概况 | 第13-15页 |
| 1.4 硅负极材料研究进展 | 第15-18页 |
| 1.4.1 硅/金属复合材料 | 第16页 |
| 1.4.2 硅/碳复合材料 | 第16-17页 |
| 1.4.3 硅薄膜材料 | 第17页 |
| 1.4.4 硅纳米材料 | 第17-18页 |
| 1.4.5 粘结剂 | 第18页 |
| 1.4.6 集流体 | 第18页 |
| 1.5 本论文的研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 实验材料及测试方法 | 第20-25页 |
| 2.1 实验试剂和设备 | 第20-21页 |
| 2.2 薄膜材料的制备 | 第21页 |
| 2.3 薄膜电极材料的物理表征 | 第21-22页 |
| 2.3.1 薄膜电极材料的 X 射线衍射 (XRD) | 第21-22页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第22页 |
| 2.3.4 薄膜电极材料的能谱分析（EDS） | 第22页 |
| 2.4 薄膜电极材料的电化学表征 | 第22-25页 |
| 2.4.1 扣式电池的组装 | 第22页 |
| 2.4.2 循环伏安 | 第22-23页 |
| 2.4.3 恒流充放电 | 第23页 |
| 2.4.4 倍率充放电 | 第23页 |
| 2.4.5 电化学阻抗谱技术 | 第23-25页 |
| 第3章 制备 Si-Ti 复合薄膜工艺参数的研究 | 第25-43页 |
| 3.1 基片台转速的研究 | 第25-28页 |
| 3.1.1 均匀取样法 | 第25-26页 |
| 3.1.2 扫描电镜以及能谱分析 | 第26-27页 |
| 3.1.3 电化学充放电循环曲线 | 第27-28页 |
| 3.2 工作气体压强参数的研究 | 第28-30页 |
| 3.3 基体温度研究 | 第30-31页 |
| 3.4 集流体的研究 | 第31-35页 |
| 3.4.1 四种集流体的表征分析 | 第31-34页 |
| 3.4.2 在不同集流体上硅钛复合薄膜的电化学循环性能 | 第34-35页 |
| 3.5 退火工艺的研究 | 第35-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 Si-Ti 复合薄膜的优化 | 第43-58页 |
| 4.1 Si-Ti复合薄膜成分比例的优化 | 第43-47页 |
| 4.1.1 不同成分比例的 Si-Ti 复合薄膜制备 | 第43-45页 |
| 4.1.2 不同成分比例的 Si-Ti 复合薄膜循环伏安 | 第45-46页 |
| 4.1.3 不同成分比例的 Si-Ti 复合薄膜充放电曲线 | 第46-47页 |
| 4.2 Si-Ti复合薄膜溅射功率的优化 | 第47-51页 |
| 4.2.1 不同溅射功率制备 Si-Ti 复合薄膜的 SEM 图 | 第47-49页 |
| 4.2.2 不同溅射功率制备 Si-Ti 复合薄膜薄膜的交流阻抗 | 第49-50页 |
| 4.2.3 不同溅射功率形成 Si-Ti 复合薄膜的循环性能 | 第50-51页 |
| 4.3 Si-Ti复合薄膜厚度的优化 | 第51-55页 |
| 4.3.1 Si-Ti 复合薄膜不同厚度的充放电循环性能 | 第51-52页 |
| 4.3.2 Si-Ti 复合薄膜循环 300 次后的照片和扫描电镜 | 第52-55页 |
| 4.4 Si-Ti复合薄膜最优化的薄膜表征 | 第55-57页 |
| 4.4.1 Si-Ti 复合薄膜的倍率性能测试 | 第55页 |
| 4.4.2 Si-Ti 复合薄膜的循环性能 | 第55-56页 |
| 4.4.3 Si-Ti 复合薄膜材料循环后的 XRD 表征 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
