基于四探针技术的新型方块电阻测试仪设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 前言 | 第9-13页 |
| 1.1 研究目标和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第11-12页 |
| 1.4 本文技术路线 | 第12-13页 |
| 2 直线型四探针测试技术基本原理 | 第13-18页 |
| 2.1 方块电阻定义 | 第13-14页 |
| 2.2 直线型四探针法测试原理 | 第14-17页 |
| 2.3 直线型四探针法的优势与不足 | 第17页 |
| 2.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 3 系统方案 | 第18-36页 |
| 3.1 系统整体方案 | 第18页 |
| 3.2 主控单元方案选择 | 第18-21页 |
| 3.3 恒流源电路选择 | 第21-23页 |
| 3.4 数字电压表 | 第23页 |
| 3.5 样品台控制和步进电机控制电路选择 | 第23-28页 |
| 3.5.1 样品台运动方式选择 | 第23-25页 |
| 3.5.2 步进电机控制电路选择 | 第25-28页 |
| 3.6 触摸屏方案 | 第28-30页 |
| 3.6.1 触摸屏硬件平台 | 第28-29页 |
| 3.6.2 触摸屏软件平台 | 第29-30页 |
| 3.7 线性稳压电源方案选择 | 第30-33页 |
| 3.8 保护电路方案 | 第33-35页 |
| 3.8.1 短路保护电路的选择 | 第33-34页 |
| 3.8.2 过欠压保护电路的选择 | 第34-35页 |
| 3.9 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 系统设计 | 第36-71页 |
| 4.1 主控单元设计 | 第36-37页 |
| 4.2 恒流源电路与数字电压表设计 | 第37-44页 |
| 4.2.1 恒流源电路设计 | 第37-41页 |
| 4.2.2 数字电压表设计 | 第41-44页 |
| 4.3 样品平台设计 | 第44-54页 |
| 4.3.1 机械机构设计 | 第45-49页 |
| 4.3.2 步进电机驱动电路设计 | 第49-51页 |
| 4.3.3 电机驱动软件设计 | 第51-54页 |
| 4.4 触摸屏控制界面设计 | 第54-58页 |
| 4.4.1.功能窗口 | 第55-57页 |
| 4.4.2 其他窗口 | 第57-58页 |
| 4.5 线性稳压电源基本电路设计 | 第58-65页 |
| 4.5.1 变压器电路设计 | 第59-60页 |
| 4.5.2 整流电路的设计 | 第60-61页 |
| 4.5.3 滤波电路的设计 | 第61-62页 |
| 4.5.4 稳压电路的设计 | 第62-65页 |
| 4.6 保护电路设计 | 第65-70页 |
| 4.6.1 短路保护电路设计 | 第65-66页 |
| 4.6.2 过欠压保护电路设计 | 第66-70页 |
| 4.6.3 急停按钮 | 第70页 |
| 4.7 本章小结 | 第70-71页 |
| 5 系统调试与误差分析 | 第71-83页 |
| 5.1 恒流源电路调试与误差分析 | 第71-74页 |
| 5.1.1 恒流源精度测试 | 第71-72页 |
| 5.1.2 恒流源带载能力测试 | 第72-73页 |
| 5.1.3 误差分析 | 第73-74页 |
| 5.2 数字电压表调试和误差分析 | 第74-77页 |
| 5.3 线性稳压电源调试和误差分析 | 第77-78页 |
| 5.3.1 电源负载调整率测试 | 第77页 |
| 5.3.2 电源调整率测试 | 第77-78页 |
| 5.3.3 误差分析 | 第78页 |
| 5.4 晶圆片测试和误差分析 | 第78-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 6 结论与展望 | 第83-85页 |
| 6.1 结论 | 第83页 |
| 6.2 展望 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间发表论文 | 第89页 |
