3kW射频板条CO2激光器射频激励技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 概论 | 第9-18页 |
| 1.1 射频板条CO_2激光器的发展 | 第9-11页 |
| 1.2 CO_2 激光器放电技术进展 | 第11-13页 |
| 1.3 射频电源发展概况 | 第13-16页 |
| 1.4 论文的研究目的和现实意义 | 第16-18页 |
| 2 45kW电子管射频电源设计 | 第18-30页 |
| 2.1 电源电路设计 | 第18-25页 |
| 2.2 射频电源测试 | 第25-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 大面积板条电极射频放电分析 | 第30-41页 |
| 3.1 射频放电等效电路 | 第30-33页 |
| 3.2 一维平板放电模型 | 第33-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 宽带阻抗匹配网络设计 | 第41-51页 |
| 4.1 射频功率传输过程分析 | 第41-42页 |
| 4.2 阻抗匹配网络设计 | 第42-44页 |
| 4.3 阻抗匹配效果验证 | 第44-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 射频频率对激光器性能的影响 | 第51-58页 |
| 5.1 射频频率对功率注入的影响 | 第51-53页 |
| 5.2 射频板条CO_2激光器实验 | 第53-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 全文总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间参与的科研工作 | 第65页 |
