| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1. 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 集成光子器件的发展现状 | 第12-16页 |
| 1.2 聚合物波导的发展 | 第16-17页 |
| 1.3 聚合物传感器以及与集成传感器的发展 | 第17-20页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第20-21页 |
| 1.5 本论文的创新点 | 第21-24页 |
| 2 光波导基本理论及数值方法 | 第24-42页 |
| 2.1 光波导的基本概述 | 第24-25页 |
| 2.2 波动方程 | 第25-27页 |
| 2.3 平板波导 | 第27-30页 |
| 2.4 条形波导 | 第30-33页 |
| 2.5 光波导的数值计算方法 | 第33-40页 |
| 2.6 边界条件 | 第40-42页 |
| 3 基于角度型MMI的微环器件 | 第42-62页 |
| 3.1 微环的基本结构 | 第42页 |
| 3.2 微环的基本参量 | 第42-44页 |
| 3.3 传输矩阵法对单个微环的分析 | 第44-48页 |
| 3.4 基于角度型MMI的微环谐振器件的设计 | 第48-53页 |
| 3.5 MRR器件的制作 | 第53-56页 |
| 3.6 MRR器件的测试与分析 | 第56-60页 |
| 3.7 本章总结 | 第60-62页 |
| 4 跑道型MRR及其热光非线性效应 | 第62-78页 |
| 4.1 基于脊形波导的跑道型MRR的设计 | 第62-65页 |
| 4.2 制作过程 | 第65-66页 |
| 4.3 测试结果 | 第66-70页 |
| 4.4 非线性的探究 | 第70-75页 |
| 4.5 本章总结 | 第75-78页 |
| 5 悬挂型波导探测器以及集成传感器 | 第78-106页 |
| 5.1 背景陈述 | 第78页 |
| 5.2 悬挂波导结构和设计 | 第78-81页 |
| 5.3 波导型MSM光电探测器的原理以及电极设计 | 第81-88页 |
| 5.4 波导型MSM光电探测器的制作过程以及注意点 | 第88-92页 |
| 5.5 波导型MSM光电探测器的性能 | 第92-96页 |
| 5.6 悬挂波导型光电探测器的改进 | 第96-104页 |
| 5.7 本章总结 | 第104-106页 |
| 6 总结与展望 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-120页 |
| 作者简介 | 第120页 |
| 研究成果 | 第120页 |