| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 选题的目的和意义 | 第11页 |
| 1.2 MEMS扭转微镜的研究现状 | 第11-18页 |
| 1.3 改善MEMS扭转微镜的动态性能研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4 本论文的主要研究工作及安排 | 第20-22页 |
| 1.4.1 本论文的主要研究工作 | 第20页 |
| 1.4.2 本论文的章节安排 | 第20-22页 |
| 第二章 电磁式MEMS扭转微镜的结构和滑模控制理论的基础知识 | 第22-31页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 电磁式MEMS扭转微镜的结构 | 第22-26页 |
| 2.2.1 电磁式MEMS扭转微镜的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 电磁式MEMS扭转微镜的制造 | 第23-25页 |
| 2.2.3 电磁式MEMS扭转微镜的扭转模型 | 第25-26页 |
| 2.3 滑模控制理论的基础知识 | 第26-30页 |
| 2.3.1 滑模控制理论的设计思想 | 第27-29页 |
| 2.3.2 滑模控制理论的不变性 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 电磁式MEMS扭转微镜的数学建模 | 第31-43页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 电线圈的数学模型 | 第31-38页 |
| 3.2.1 载流直导线磁场强度的计算 | 第32-36页 |
| 3.2.2 螺形平面线圈磁场强度的计算 | 第36-38页 |
| 3.3 磁驱动器的数学模型 | 第38-42页 |
| 3.4 电磁式MEMS扭转微镜的机械模型 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 电磁式MEMS扭转微镜的数学模型验证及平台实现 | 第43-56页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 基于电磁式MEMS扭转微镜运动模拟设计 | 第43-45页 |
| 4.2.1 COMSOL Multiphysics介绍 | 第43-44页 |
| 4.2.2 仿真模型建立 | 第44-45页 |
| 4.3 基于电磁式MEMS扭转微镜激光扫描平台设计 | 第45-49页 |
| 4.3.1 实验平台搭建 | 第45-47页 |
| 4.3.2 基于FPGA数据采集系统的设计 | 第47-48页 |
| 4.3.3 电磁式MEMS扭转微镜的角度测量 | 第48-49页 |
| 4.4 仿真与实验结果 | 第49-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 电磁式MEMS扭转微镜的控制算法设计 | 第56-73页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 系统的开环控制 | 第56-58页 |
| 5.3 传统PID控制策略设计 | 第58-60页 |
| 5.4 改进PID控制策略设计 | 第60-62页 |
| 5.5 滑模控制策略设计 | 第62-72页 |
| 5.5.1 PD形式滑模控制策略设计 | 第63-67页 |
| 5.5.2 PID形式积分滑模控制策略设计 | 第67-72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 工作总结 | 第73-74页 |
| 6.2 工作展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 附件 | 第82页 |
