| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外发展现状 | 第9-12页 |
| 1.3.1 光学传递函数检测发展 | 第9-11页 |
| 1.3.2 焦距检测的发展 | 第11-12页 |
| 1.3.3 激光光强分布检测的发展 | 第12页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 基于高能激光传输系统参数及检测方法选取 | 第14-26页 |
| 2.1 待测系统介绍 | 第14-17页 |
| 2.1.1 跟踪成像系统的结构参数 | 第15-16页 |
| 2.1.2 激光发射系统的结构参数 | 第16-17页 |
| 2.1.3 待测参数及检测要求 | 第17页 |
| 2.2 光学传递函数检测方法 | 第17-20页 |
| 2.2.1 传递函数检测理论基础 | 第17-18页 |
| 2.2.2 传递函数检测方法 | 第18-20页 |
| 2.3 焦距检测方法 | 第20-21页 |
| 2.4 激光光强分布检测方法 | 第21-22页 |
| 2.5 检测系统检测方法的选取 | 第22-25页 |
| 2.5.1 传递函数检测方法的选取 | 第22-24页 |
| 2.5.2 焦距检测方法的选取 | 第24-25页 |
| 2.5.3 激光光强分布检测方法的选取 | 第25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 检测系统总体设计 | 第26-38页 |
| 3.1 检测系统总体设计 | 第26-28页 |
| 3.1.1 系统总体组成 | 第26-27页 |
| 3.1.2 光学参数检测系统组成 | 第27页 |
| 3.1.3 激光光强分布检测系统组成 | 第27-28页 |
| 3.2 光学参数检测系统总体设计 | 第28-31页 |
| 3.2.1 视频法检测传递函数原理 | 第28-29页 |
| 3.2.2 传递函数检测系统总体硬件组成 | 第29-30页 |
| 3.2.3 数字图像检测焦距法 | 第30-31页 |
| 3.2.4 焦距检测系统总体硬件组成 | 第31页 |
| 3.3 激光光强分布检测系统设计 | 第31-37页 |
| 3.3.1 高斯光束 | 第31-33页 |
| 3.3.2 光强分布特点 | 第33-34页 |
| 3.3.3 基于CCD成像的检测激光光强分布方法 | 第34-36页 |
| 3.3.4 基于CCD成像的检测激光光强分布系统硬件组成 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 检测系统主要组成部分设计 | 第38-47页 |
| 4.1 光学参数检测系统光学设计 | 第38-41页 |
| 4.1.1 准直光学系统选取 | 第38-39页 |
| 4.1.2 准直光学系统光学设计 | 第39-41页 |
| 4.2 光学参数检测结构设计 | 第41-43页 |
| 4.2.1 物发生系统结构设计 | 第41-43页 |
| 4.2.2 准直光学系统反射镜支架设计 | 第43页 |
| 4.3 能量衰减系统设计 | 第43-45页 |
| 4.4 扫描系统设计 | 第45-46页 |
| 4.4.1 扫描系统设计 | 第45页 |
| 4.4.2 测量显微镜 | 第45-46页 |
| 4.5 信号处理系统设计 | 第46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 检测系统重要结构精度分析 | 第47-52页 |
| 5.1 传递函数检测系统分析 | 第47-49页 |
| 5.1.1 星点孔直径要求分析 | 第47-48页 |
| 5.1.2 准直系统和测量显微镜显微精度影响和修正 | 第48-49页 |
| 5.1.3 CCD成像器件的精度影响和修正 | 第49页 |
| 5.2 焦距检测系统分析 | 第49-51页 |
| 5.2.1 常数r误差分析 | 第49-50页 |
| 5.2.2 系统焦距检测误差分析 | 第50-51页 |
| 5.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 硕士期间研究成果 | 第56页 |