| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 飞秒激光精细加工概述 | 第11-13页 |
| 1.1.1 飞秒激光的概念及特点 | 第11-13页 |
| 1.1.2 飞秒激光精细加工发展历程 | 第13页 |
| 1.2 飞秒激光精细加工最新进展 | 第13-19页 |
| 1.2.1 量子集成芯片 | 第14-15页 |
| 1.2.2 生物医学器件 | 第15-17页 |
| 1.2.3 功能性周期阵列 | 第17页 |
| 1.2.4 功能性表面 | 第17-19页 |
| 1.3 选题意义、研究内容和创新点 | 第19-23页 |
| 1.3.1 选题意义和研究内容 | 第19-21页 |
| 1.3.2 创新点 | 第21-23页 |
| 第2章 飞秒激光与物质相互作用的基本理论 | 第23-43页 |
| 2.1 飞秒激光与物质相互作用概述 | 第23-26页 |
| 2.1.1 飞秒激光烧蚀材料的时间尺度 | 第23-25页 |
| 2.1.2 飞秒激光烧蚀材料产生的物质形态 | 第25-26页 |
| 2.2 真空环境低温等离子体探测 | 第26-33页 |
| 2.2.1 探测仪器 | 第26-27页 |
| 2.2.2 Langmuir探针工作原理 | 第27-28页 |
| 2.2.3 I-V特性曲线分析方法 | 第28-31页 |
| 2.2.4 鞘壳扩张效应 | 第31-33页 |
| 2.3 双温模型 | 第33-35页 |
| 2.4 改进的双温模型 | 第35-37页 |
| 2.5 Sipe-Drude模型 | 第37-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-43页 |
| 第3章 飞秒激光诱导等离子体的特性研究 | 第43-53页 |
| 3.1 探测激光诱导等离子体实验概述 | 第43-46页 |
| 3.1.1 探测方法 | 第43-45页 |
| 3.1.2 实验设备 | 第45-46页 |
| 3.1.3 偏压控制单元 | 第46页 |
| 3.2 等离子体探测 | 第46-52页 |
| 3.2.1 I-V特性曲线的获得 | 第46-47页 |
| 3.2.2 I-V特性曲线的分析 | 第47-50页 |
| 3.2.3 等离子体特性分析 | 第50-52页 |
| 3.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 高重频飞秒激光烧蚀金属薄膜 | 第53-77页 |
| 4.1 金属氧化物纳米颗粒概述 | 第53-54页 |
| 4.2 高重频飞秒激光烧蚀实验 | 第54-57页 |
| 4.2.1 空气环境实验方法 | 第54-56页 |
| 4.2.2 水环境实验方法 | 第56页 |
| 4.2.3 实验特点与创新性 | 第56-57页 |
| 4.3 铜膜温度理论衍化过程 | 第57-63页 |
| 4.3.1 温度空间分布的衍化过程 | 第57-62页 |
| 4.3.2 温度随时间的衍化过程 | 第62-63页 |
| 4.4 空气环境加工结果 | 第63-68页 |
| 4.4.1 光学显微镜分析 | 第63-64页 |
| 4.4.2 显微拉曼频谱分析 | 第64-66页 |
| 4.4.3 颜色波动效应机制探讨 | 第66-67页 |
| 4.4.4 扫描电子显微镜分析 | 第67-68页 |
| 4.5 水环境加工结果 | 第68-76页 |
| 4.5.1 光学显微镜分析 | 第68-70页 |
| 4.5.2 显微拉曼频谱分析 | 第70-71页 |
| 4.5.3 扫描电子显微镜分析 | 第71-74页 |
| 4.5.4 机制探讨 | 第74-76页 |
| 4.6 本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 激光诱导周期性表面结构 | 第77-103页 |
| 5.1 LIPSS概述 | 第77-79页 |
| 5.1.1 LIPSS基本概念 | 第77-78页 |
| 5.1.2 LIPSS研究现状 | 第78-79页 |
| 5.2 实验与模拟方法 | 第79-82页 |
| 5.2.1 实验材料 | 第79页 |
| 5.2.2 实验装置 | 第79-80页 |
| 5.2.3 Sipe-Drude模型参数 | 第80-82页 |
| 5.3 波纹的扭曲和分裂现象 | 第82-88页 |
| 5.3.1 扫描电子显微镜分析 | 第82-84页 |
| 5.3.2 Sipe-Drude模型分析 | 第84-86页 |
| 5.3.3 波纹的理论衍化过程 | 第86-88页 |
| 5.4 凸槽的产生机制 | 第88-93页 |
| 5.4.1 使用In-Lens探头的SEM分析 | 第88-92页 |
| 5.4.2 Sipe-Drude模型分析 | 第92-93页 |
| 5.5 LIPSS阈值的潜伏效应 | 第93-100页 |
| 5.5.1 潜伏效应分析方法 | 第93-94页 |
| 5.5.2 潜伏效应计算 | 第94-96页 |
| 5.5.3 潜伏效应实验验证 | 第96-98页 |
| 5.5.4 Sipe-Drude模型分析 | 第98-100页 |
| 5.6 本章小结 | 第100-103页 |
| 第6章 飞秒激光涡旋光束对LIPSS的控制 | 第103-119页 |
| 6.1 涡旋光束概述 | 第103-104页 |
| 6.2 飞秒激光涡旋光束加工实验概述 | 第104-106页 |
| 6.2.1 飞秒激光涡旋光束加工实验装置 | 第104-105页 |
| 6.2.2 q板简介 | 第105-106页 |
| 6.2.3 模拟方法 | 第106页 |
| 6.3 飞秒激光涡旋光束加工实验 | 第106-111页 |
| 6.3.1 不同偏振状态下的表面形态 | 第106-108页 |
| 6.3.2 飞秒激光涡旋光束导致的凸槽结构阈值 | 第108-110页 |
| 6.3.3 飞秒激光涡旋光束导致的LIPSS空间周期 | 第110-111页 |
| 6.4 飞秒激光涡旋光束加工理论分析 | 第111-117页 |
| 6.4.1 加工结果随脉冲能量的变化 | 第111-112页 |
| 6.4.2 加工结果随脉冲数量的变化 | 第112-114页 |
| 6.4.3 表面结构的形成机制探讨 | 第114-117页 |
| 6.5 本章小结 | 第117-119页 |
| 第7章 总结与展望 | 第119-123页 |
| 7.1 总结 | 第119-120页 |
| 7.2 展望 | 第120-123页 |
| 参考文献 | 第123-135页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |