| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| 1.1 声表面波简介 | 第7-8页 |
| 1.2 声表面波器件的发展和应用 | 第8-9页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第9-11页 |
| 第2章 压电基底材料的研究 | 第11-21页 |
| 2.1 声表面波压电材料 | 第11-14页 |
| 2.1.1 压电材料的选择 | 第11-12页 |
| 2.1.2 铌酸锂压电晶体的切割 | 第12-14页 |
| 2.2 铌酸锂压电晶体的有限元仿真 | 第14-19页 |
| 2.2.1 YX128°-LiNbO3的有限元仿真 | 第14-18页 |
| 2.2.2 YZ-LiNbO3的有限元仿真 | 第18-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-21页 |
| 第3章 声表面波叉指换能器 | 第21-42页 |
| 3.1 叉指换能器简介 | 第21-22页 |
| 3.1.1 叉指换能器的基本结构 | 第21页 |
| 3.1.2 叉指换能器的有限元仿真模型 | 第21-22页 |
| 3.2 叉指换能器的工作原理 | 第22-24页 |
| 3.3 叉指换能器的特性及其性能决定因素 | 第24-27页 |
| 3.3.1 叉指换能器的基本特性 | 第24-27页 |
| 3.3.2 叉指换能器的性能决定因素 | 第27页 |
| 3.4 叉指换能器的二次效应 | 第27-33页 |
| 3.5 叉指换能器的设计与仿真 | 第33-36页 |
| 3.6 叉指换能器的制备 | 第36-40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 气体敏感膜的制备 | 第42-49页 |
| 4.1 磁控溅射镀膜 | 第42-44页 |
| 4.1.1 磁控溅射镀膜的原理 | 第42-43页 |
| 4.1.2 磁控溅射镀膜的特点 | 第43-44页 |
| 4.2 气体敏感膜的制备与表征 | 第44-48页 |
| 4.2.1 氧化锌膜的制备 | 第44-45页 |
| 4.2.2 氧化锌膜的表征 | 第45-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 声表面波气体检测器件的仿真 | 第49-63页 |
| 5.1 声表面波气体检测器件的种类 | 第49-51页 |
| 5.1.1 谐振型声表面波器件 | 第49-50页 |
| 5.1.2 延迟线型声表面波器件 | 第50-51页 |
| 5.2 谐振型二氧化氮气体检测器件的仿真 | 第51-56页 |
| 5.3 延迟线型二氧化氮气体检测器件的仿真 | 第56-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 致谢 | 第72页 |