| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 聚合物表面金属图形化 | 第9页 |
| 1.2 聚合物表面金属图形化的方法 | 第9-13页 |
| 1.3 提高金属薄膜与聚合物基底结合强度的方法 | 第13-17页 |
| 1.4 金属薄膜与聚合物基底结合强度的测试方法 | 第17-22页 |
| 1.4.1 胶带测试法 | 第17-18页 |
| 1.4.2 浸泡法 | 第18页 |
| 1.4.3 吹气法 | 第18-19页 |
| 1.4.4 超声破碎法 | 第19页 |
| 1.4.5 其它测试方法 | 第19-22页 |
| 1.5 课题的提出及本文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 课题的提出 | 第22-23页 |
| 1.5.2 本文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 PMMA的紫外表面处理与微电极制作 | 第24-30页 |
| 2.1 紫外改性 | 第24页 |
| 2.2 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.3 金微电极的制作 | 第25-29页 |
| 2.3.1 金微电极的结构设计 | 第25页 |
| 2.3.2 金微电极制作过程 | 第25-29页 |
| 2.4 小结 | 第29-30页 |
| 3 金属薄膜与PMMA基底结合强度测试 | 第30-39页 |
| 3.1 金微图案的制作 | 第30-33页 |
| 3.2 金薄膜与PMMA基底结合强度测试 | 第33-38页 |
| 3.2.1 浸泡测试 | 第33-34页 |
| 3.2.2 吹气测试 | 第34-35页 |
| 3.2.3 胶带测试 | 第35-36页 |
| 3.2.4 超声破碎测试 | 第36-38页 |
| 3.3 小结 | 第38-39页 |
| 4 紫外处理提高金属薄膜与PMMA基底结合强度的作用机理 | 第39-52页 |
| 4.1 表面形貌研究 | 第39-43页 |
| 4.1.1 原子力显微镜测试 | 第39-41页 |
| 4.1.2 ZYGO三维表面轮廓仪测试 | 第41-43页 |
| 4.2 表面化学变化研究 | 第43-51页 |
| 4.2.1 紫外处理对PMMA表面亲水性的影响 | 第43-45页 |
| 4.2.2 傅里叶变换红外光谱仪测试 | 第45-46页 |
| 4.2.3 X射线光电子能谱仪测试 | 第46-51页 |
| 4.3 小结 | 第51-52页 |
| 5 一种集成微电极的PMMA纳流控电化学芯片 | 第52-61页 |
| 5.1 芯片的制作与检测 | 第52-53页 |
| 5.2 氧等离子刻蚀纳米沟道研究 | 第53-58页 |
| 5.2.1 宽21μm深80nm沟道的制作 | 第53-55页 |
| 5.2.2 氧等离子体刻蚀速率研究 | 第55-56页 |
| 5.2.3 一维纳米沟道沟底形貌研究 | 第56-58页 |
| 5.3 一维纳米沟道紫外辅助键合变形研究 | 第58-60页 |
| 5.4 小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |