| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第14页 |
| 1.2 固体润滑薄膜材料 | 第14-20页 |
| 1.2.1 软金属固体润滑薄膜 | 第15-17页 |
| 1.2.2 高分子固体润滑薄膜 | 第17-18页 |
| 1.2.3 层状固体润滑薄膜 | 第18-20页 |
| 1.3 固体润滑涂层制备方法 | 第20-25页 |
| 1.3.1 化学气相沉积 | 第20-22页 |
| 1.3.2 物理气相沉积 | 第22-24页 |
| 1.3.3 喷涂及熔覆等方法 | 第24-25页 |
| 1.4 等离子体浸没离子注入与沉积技术 | 第25-28页 |
| 1.5 课题研究内容 | 第28-30页 |
| 1.5.1 存在的问题 | 第28-29页 |
| 1.5.2 课题研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 试验材料及方法 | 第30-35页 |
| 2.1 试验材料 | 第30-31页 |
| 2.2 试验设备与工艺 | 第31-33页 |
| 2.2.1 试验设备 | 第31-32页 |
| 2.2.2 TiBN纳米复合薄膜的制备工艺 | 第32-33页 |
| 2.3 组织结构及性能分析方法 | 第33-35页 |
| 第3章 Ti-BN复合阴极的制备及其阴极弧等离子体的质谱诊断 | 第35-60页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 Ti-BN复合阴极的制备及性能 | 第35-45页 |
| 3.2.1 Ti-BN复合阴极的制备 | 第35-37页 |
| 3.2.2 Ti-BN复合阴极的性能 | 第37-45页 |
| 3.3 Ti-BN复合阴极放电等离子体的质谱诊断 | 第45-58页 |
| 3.3.1 诊断设计 | 第45-47页 |
| 3.3.2 阴极成分对等离子体的影响 | 第47-50页 |
| 3.3.3 磁导管角度对等离子体的影响 | 第50-52页 |
| 3.3.4 气压对等离子体的影响 | 第52-56页 |
| 3.3.5 放电电流对等离子体的影响 | 第56-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 TiBN纳米复合薄膜微观组织研究及性能分析 | 第60-83页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 TiBN纳米复合薄膜微观组织 | 第60-72页 |
| 4.2.1 薄膜成分 | 第60-61页 |
| 4.2.2 薄膜表面形貌 | 第61-63页 |
| 4.2.3 薄膜物相 | 第63-65页 |
| 4.2.4 薄膜截面特征 | 第65-72页 |
| 4.3 TiBN纳米复合薄膜的力学性能 | 第72-80页 |
| 4.3.1 纳米硬度 | 第73-75页 |
| 4.3.2 摩擦特征 | 第75-78页 |
| 4.3.3 膜基结合强度 | 第78-80页 |
| 4.4 TiBN纳米复合薄膜润滑机理分析 | 第80-82页 |
| 4.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 第5章 TiBN纳米复合薄膜高温氧化后的微观组织结构及性能 | 第83-117页 |
| 5.1 引言 | 第83页 |
| 5.2 薄膜氧化反应机制 | 第83-88页 |
| 5.2.1 氧化热力学计算 | 第83-86页 |
| 5.2.2 氧化动力学分析 | 第86-88页 |
| 5.3 TiBN纳米复合薄膜高温氧化特性 | 第88-102页 |
| 5.3.1 高温抗氧化性能 | 第88-90页 |
| 5.3.2 高温氧化后的表面形貌及成分 | 第90-97页 |
| 5.3.3 高温氧化后的物相分析 | 第97-100页 |
| 5.3.4 高温氧化后的薄膜截面形貌 | 第100-102页 |
| 5.4 TiBN纳米复合薄膜高温力学性能 | 第102-114页 |
| 5.4.1 高温氧化后的纳米硬度 | 第102-106页 |
| 5.4.2 薄膜的高温摩擦行为 | 第106-110页 |
| 5.4.3 高温氧化后的膜基结合强度 | 第110-114页 |
| 5.5 薄膜高温润滑机制分析 | 第114-115页 |
| 5.6 本章小结 | 第115-117页 |
| 结论 | 第117-118页 |
| 创新点 | 第118页 |
| 展望 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-127页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 个人简历 | 第130页 |
