| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第9-18页 |
| 1.1 电子碰撞速率系数在低温等离子体研究中的意义 | 第9-12页 |
| 1.2 前人已得到的电子碰撞速率系数结果 | 第12-16页 |
| 1.2.1 获取电子碰撞速率系数的方法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 前人得到的电子碰撞速率系数结果的比较 | 第13-16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 实验装置与诊断 | 第18-36页 |
| 2.1 射频电容耦合放电系统介绍 | 第18-20页 |
| 2.2 多道可调谐半导体激光吸收光谱诊断粒子密度与温度 | 第20-32页 |
| 2.2.1 激光吸收光谱诊断的基本原理 | 第20-21页 |
| 2.2.2 多通道激光吸收光谱系统 | 第21-22页 |
| 2.2.3 粒子密度与温度的时间演化测量 | 第22-24页 |
| 2.2.4 电容耦合放电中稀有气体原子 1s态粒子的密度及分布 | 第24-32页 |
| 2.3 发射光谱诊断 | 第32-33页 |
| 2.4 朗缪探针系统诊断电子温度与密度 | 第33-35页 |
| 2.5 微波干涉仪系统诊断电子密度 | 第35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 氩原子 1s态向np能级（2p、3p及 4p）跃迁的电子碰撞激发速率系数的实验研究 | 第36-84页 |
| 3.1 研究方法 | 第36-43页 |
| 3.1.1 速率平衡方程 | 第37-40页 |
| 3.1.2 结合实验诊断确定速率系数 | 第40-43页 |
| 3.2 氩原子亚稳态向 2p能级跃迁的电子碰撞激发速率系数 | 第43-53页 |
| 3.2.1 实验条件与诊断结果 | 第43-46页 |
| 3.2.2 速率系数结果 | 第46-53页 |
| 3.3 氩原子共振态向 2p能级跃迁的电子碰撞激发速率系数 | 第53-60页 |
| 3.3.1 实验条件与诊断结果 | 第53-56页 |
| 3.3.2 速率系数结果 | 第56-60页 |
| 3.4 氩原子 1s态向 3p能级跃迁的电子碰撞激发速率系数 | 第60-70页 |
| 3.4.1 实验条件与诊断结果 | 第60-63页 |
| 3.4.2 速率系数结果 | 第63-70页 |
| 3.5 氩原子亚稳态向 4p能级跃迁的电子碰撞激发速率系数 | 第70-77页 |
| 3.5.1 实验条件与诊断结果 | 第71-74页 |
| 3.5.2 速率系数结果 | 第74-77页 |
| 3.6 本章结果讨论及小节 | 第77-84页 |
| 3.6.1 误差分析 | 第77-79页 |
| 3.6.2 速率系数与振子强度的比较 | 第79-80页 |
| 3.6.3 对得到的速率系数的理论分析 | 第80-81页 |
| 3.6.4 得到的速率系数的适用范围 | 第81-82页 |
| 3.6.5 本章小节 | 第82-84页 |
| 第4章 稀有气体原子亚稳态向共振态电子碰撞转化速率系数的实验研究 | 第84-107页 |
| 4.1 研究方法 | 第84-88页 |
| 4.1.1 速率平衡方程 | 第84-87页 |
| 4.1.2 结合实验诊断确定速率系数 | 第87-88页 |
| 4.2 氩原子亚稳态向共振态转化的电子碰撞速率系数 | 第88-95页 |
| 4.2.1 实验条件与诊断结果 | 第89-92页 |
| 4.2.2 速率系数结果 | 第92-95页 |
| 4.3 氪原子亚稳态向共振态转化的电子碰撞速率系数 | 第95-101页 |
| 4.3.1 实验条件与诊断结果 | 第95-99页 |
| 4.3.2 速率系数结果 | 第99-101页 |
| 4.4 本章结果讨论及小节 | 第101-107页 |
| 4.4.1 误差分析 | 第101-103页 |
| 4.4.2 估计速率系数的半经验公式 | 第103-105页 |
| 4.4.3 本章小节 | 第105-107页 |
| 第5章 氩脉冲等离子体的发射光谱诊断 | 第107-123页 |
| 5.1 脉冲放电中电子温度演化的诊断 | 第107-114页 |
| 5.2 脉冲放电中氩原子亚稳态密度演化的诊断 | 第114-121页 |
| 5.3 本章小结 | 第121-123页 |
| 第6章 结论 | 第123-127页 |
| 6.1 本文的主要结果、局限性和进一步工作 | 第123-126页 |
| 6.2 本文的主要创新点 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-136页 |
| 致谢 | 第136-138页 |
| 附录A | 第138-143页 |
| A.1 式（4-7）的推导 | 第138-140页 |
| A.2 式（4-8）的推导 | 第140-143页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第143-144页 |
