等离子体增强平衡磁控溅射制备硬质涂层及钢表面渗氮
| 中文摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 1. 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 真空溅射镀膜 | 第11-13页 |
| 1.2.1 溅射镀膜原理 | 第11-12页 |
| 1.2.2 溅射镀膜的特点 | 第12页 |
| 1.2.3 溅射镀膜方法 | 第12-13页 |
| 1.3 氮化铬涂层介绍 | 第13-14页 |
| 1.3.1 氮化铬涂层的结构 | 第13-14页 |
| 1.3.2 氮化铬涂层的性能和应用 | 第14页 |
| 1.4 氮化钛涂层介绍 | 第14-15页 |
| 1.4.1 氮化钛涂层的结构 | 第15页 |
| 1.4.2 氮化钛涂层的性能和应用 | 第15页 |
| 1.5 奥氏体不锈钢渗氮 | 第15-16页 |
| 1.5.1 渗氮层的结构 | 第15-16页 |
| 1.5.2 渗氮层的性能及应用 | 第16页 |
| 1.6 氮化钛硅多元涂层介绍 | 第16-17页 |
| 1.6.1 氮化钛硅涂层的结构 | 第17页 |
| 1.6.2 氮化钛硅涂层的性能和应用 | 第17页 |
| 1.7 本课题研究的意义和内容 | 第17-18页 |
| 1.7.1 本课题研究的内容 | 第17页 |
| 1.7.2 本课题研究的意义 | 第17-18页 |
| 2. 实验方案 | 第18-28页 |
| 2.1 实验研究思路 | 第18-20页 |
| 2.2 实验设备 | 第20-22页 |
| 2.3 实验材料 | 第22-23页 |
| 2.3.1 氮化铬涂层的制备 | 第22页 |
| 2.3.2 氮化钛在涂层的制备 | 第22页 |
| 2.3.3 奥氏体不锈钢表面渗氮 | 第22页 |
| 2.3.4 TiSiN多元硬质涂层的制备 | 第22-23页 |
| 2.4 涂层微观分析 | 第23-25页 |
| 2.4.1 SEM | 第23-24页 |
| 2.4.2 XRD | 第24-25页 |
| 2.5 涂层性能分析 | 第25-28页 |
| 2.5.1 涂层厚度的测量 | 第25页 |
| 2.5.2 涂层结合强度的测量 | 第25页 |
| 2.5.3 耐磨性能的测试 | 第25-26页 |
| 2.5.4 涂层硬度的测量 | 第26页 |
| 2.5.5 涂层宏观形貌的测量 | 第26-28页 |
| 3. 氮化铬涂层的制备 | 第28-42页 |
| 3.1 实验材料和工艺参数 | 第28-29页 |
| 3.2 实验结果分析与讨论 | 第29-41页 |
| 3.2.1 氮化铬涂层的沉积速率 | 第29-31页 |
| 3.2.2 氮化铬涂层的显微形貌 | 第31-33页 |
| 3.2.3 氮化铬涂层的化学成分 | 第33-35页 |
| 3.2.4 氮化铬涂层的相结构 | 第35-37页 |
| 3.2.5 氮化铬涂层的纳米硬度和弹性模量 | 第37-38页 |
| 3.2.6 氮化铬涂层的耐磨性 | 第38-40页 |
| 3.2.7 氮化铬涂层的结合强度 | 第40-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4. 热丝增强等离子体制备氮化钛涂层 | 第42-55页 |
| 4.1 热丝等离子体增强平衡磁控溅射技术 | 第42页 |
| 4.2 实验材料和方案 | 第42-43页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第43-54页 |
| 4.3.1 氮化钛涂层的沉积速率 | 第43页 |
| 4.3.2 氮化钛涂层的显微形貌 | 第43-44页 |
| 4.3.3 氮化钛涂层的化学成分 | 第44-46页 |
| 4.3.4 氮化钛涂层的相结构 | 第46-48页 |
| 4.3.5 氮化钛涂层的纳米硬度和弹性模量 | 第48-49页 |
| 4.3.6 氮化钛涂层的耐磨性 | 第49-52页 |
| 4.3.7 氮化钛涂层的涂层的结合强度 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5. 氮气流量对氮化钛涂层的影响 | 第55-67页 |
| 5.1 实验方案 | 第55-56页 |
| 5.2 实验结果讨论和分析 | 第56-66页 |
| 5.2.1 迟滞效应和“靶中毒”现象 | 第56-58页 |
| 5.2.2 氮化钛涂层的沉积速率 | 第58-59页 |
| 5.2.3 氮化钛涂层的显微形貌 | 第59页 |
| 5.2.4 氮化钛涂层的化学成分 | 第59-60页 |
| 5.2.5 氮化钛涂层的物相结构 | 第60-62页 |
| 5.2.6 氮化钛涂层的纳米硬度和弹性模量 | 第62页 |
| 5.2.7 氮化钛涂层的耐磨性 | 第62-64页 |
| 5.2.8 氮化钛涂层的结合强度 | 第64-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 6. 奥氏体不锈钢等离子体增强渗氮 | 第67-79页 |
| 6.1 实验流程 | 第67页 |
| 6.2 实验材料和工艺参数 | 第67-68页 |
| 6.3 实验结果讨论和分析 | 第68-78页 |
| 6.3.1 基体偏压对渗氮层形貌的影响 | 第68-69页 |
| 6.3.2 基体偏压对渗氮层厚度的影响 | 第69-71页 |
| 6.3.3 渗氮层的相结构 | 第71-73页 |
| 6.3.4 渗氮层的纳米硬度和弹性模量 | 第73-74页 |
| 6.3.5 渗氮层的耐磨性及磨损量 | 第74-78页 |
| 6.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 7. 氮化钛硅多元涂层的制备 | 第79-93页 |
| 7.1 实验材料和方案 | 第79-80页 |
| 7.2 实验结果讨论和分析 | 第80-92页 |
| 7.2.1 氮化钛硅涂层的沉积速率 | 第80页 |
| 7.2.2 氮化钛硅涂层的显微形貌 | 第80-82页 |
| 7.2.3 氮化钛硅涂层的化学成分 | 第82-84页 |
| 7.2.4 氮化钛硅涂层的相结构 | 第84-85页 |
| 7.2.5 氮化钛硅涂层的纳米硬度和弹性模量 | 第85-88页 |
| 7.2.6 氮化钛硅涂层的耐磨性 | 第88-90页 |
| 7.2.7 氮化钛硅涂层的结合强度 | 第90-92页 |
| 7.3 本章小结 | 第92-93页 |
| 结论 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 作者简介 | 第98-99页 |
