| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 太赫兹概念 | 第8-12页 |
| 1.1.1 太赫兹波 | 第8-9页 |
| 1.1.2 太赫兹波特性 | 第9-10页 |
| 1.1.3 太赫兹应用 | 第10-12页 |
| 1.2 太赫兹发展现状 | 第12页 |
| 1.3 太赫兹检测器 | 第12-13页 |
| 1.4 本文工作 | 第13-14页 |
| 第二章 Nb_5N_6常温太赫兹检测器 | 第14-22页 |
| 2.1 Nb_5N_6 microbolometer介绍 | 第14-15页 |
| 2.2 Nb_5N_6 microbolometer特性 | 第15-20页 |
| 2.2.1 电压响应率 | 第15-18页 |
| 2.2.2 噪声 | 第18-20页 |
| 2.2.3 噪声等效功率 | 第20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-22页 |
| 第三章 低噪声读出电路设计 | 第22-40页 |
| 3.1 读出方式 | 第22-24页 |
| 3.2 电路整体架构设计思路 | 第24-25页 |
| 3.3 电路各模块具体实现 | 第25-33页 |
| 3.3.1 直流偏置电路 | 第25-26页 |
| 3.3.2 第一级放大电路 | 第26-30页 |
| 3.3.3 多路选通电路 | 第30-31页 |
| 3.3.4 第二级放大电路 | 第31-32页 |
| 3.3.5 数据采集和控制模块 | 第32-33页 |
| 3.4 仿真与测量 | 第33-39页 |
| 3.4.1 幅频响应特性 | 第33-35页 |
| 3.4.2 噪声测量 | 第35-37页 |
| 3.4.3 一致性 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 扫描检测 | 第40-46页 |
| 4.1 测试系统 | 第40-42页 |
| 4.2 检测器与电路级联测试 | 第42-44页 |
| 4.2.1 电压响应测试 | 第42-43页 |
| 4.2.2 噪声测试 | 第43-44页 |
| 4.3 扫描成像 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 总结和展望 | 第46-48页 |
| 5.1 总结 | 第46页 |
| 5.2 展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 硕士期间研究成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |