| 摘要 | 第1-6页 |
| abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展现状 | 第10-12页 |
| ·硅基薄膜太阳能电池的发展现状 | 第10-11页 |
| ·化合物薄膜太阳能电池的发展现状 | 第11-12页 |
| ·Zn-IV-N_2族化合物的研究现状 | 第12-18页 |
| ·ZnGeN_2和ZnSiN_2的研究现状 | 第13页 |
| ·ZnSnN_2的研究现状 | 第13-18页 |
| ·本文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方案及性能测试表征技术 | 第19-29页 |
| ·实验方案 | 第19页 |
| ·ZnSnN_2薄膜的制备设备 | 第19-22页 |
| ·磁控溅射 | 第19-21页 |
| ·管式退火炉 | 第21-22页 |
| ·ZnSnN_2薄膜的表征技术 | 第22-29页 |
| ·X射线衍射分析仪 | 第22-23页 |
| ·椭偏测试仪 | 第23-25页 |
| ·紫外-可见分光光度计 | 第25-26页 |
| ·霍尔效应测试仪 | 第26-29页 |
| 第三章 ZnSnN_2薄膜的制备及工艺优化 | 第29-35页 |
| ·实验过程 | 第29-30页 |
| ·准备工作 | 第29页 |
| ·磁控溅射过程 | 第29页 |
| ·后退火处理 | 第29-30页 |
| ·ZnSnN_2薄膜制备工艺的优化 | 第30-34页 |
| ·衬底对ZnSnN_2薄膜结构的影响 | 第32页 |
| ·溅射功率对ZnSnN_2薄膜结构的影响 | 第32-33页 |
| ·工作气压对ZnSnN_2薄膜结构的影响 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 ZnSnN_2薄膜的光学性能 | 第35-47页 |
| ·实验过程 | 第35-36页 |
| ·实验步骤 | 第35页 |
| ·实验条件 | 第35-36页 |
| ·椭偏仪分析ZnSnN_2薄膜的光学性能 | 第36-41页 |
| ·紫外-可见分光光度计分析ZnSnN_2薄膜的光学性能 | 第41-45页 |
| ·溅射功率对ZnSnN_2薄膜光学性能的影响 | 第41-43页 |
| ·工作气压对ZnSnN_2薄膜光学性能的影响 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 ZnSnN_2薄膜的电学性能 | 第47-53页 |
| ·实验过程 | 第47-48页 |
| ·实验步骤 | 第47-48页 |
| ·实验条件 | 第48页 |
| ·ZnSnN_2薄膜的电学性能 | 第48-50页 |
| ·溅射功率对ZnSnN_2薄膜电学性能的影响 | 第48-49页 |
| ·工作气压对ZnSnN_2薄膜电学性能的影响 | 第49-50页 |
| ·ZnSnN_2薄膜晶体管的性能 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第六章 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |