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电容式微力测量系统性能分析及关键技术研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-14页
字母注释表第14-16页
第一章 绪论第16-34页
   ·课题背景与研究意义第16-21页
   ·研究现状分析第21-30页
   ·论文主要内容第30-31页
   ·论文总体框架第31-32页
   ·论文的研究方法第32-33页
   ·论文的创新点第33-34页
第二章 电容式微力测量系统性能分析研究第34-54页
   ·电容式微力测量系统称重原理分析第34-37页
   ·电容式微力测量系统性能分析第37-41页
   ·微力测量系统性能因素分析研究第41-52页
   ·本章小结第52-54页
第三章 柔性导向机构设计与性能分析第54-76页
   ·柔性导向机构结构设计第54-55页
   ·柔性导向机构力学性能研究第55-63页
   ·柔性导向机构结构参数对性能的影响第63-71页
   ·双平行柔性导向机构结构参数优化第71-75页
   ·本章小结第75-76页
第四章 变极距式电容传感器设计与性能分析第76-98页
   ·变极距式电容传感器性能分析第76-78页
   ·电容式微力测量系统量程设计第78-81页
   ·量程接力式电容传感器力学性能研究第81-88页
   ·量程接力式电容传感器性能优化第88-94页
   ·微力测量系统整体结构设计及验证分析第94-97页
   ·本章小结第97-98页
第五章 微力测量系统耦合误差补偿方法第98-116页
   ·微力测量系统耦合误差测试与分析第98-107页
   ·耦合误差自适应补偿策略研究第107-111页
   ·电容式微力测量系统误差模型验证第111-115页
   ·本章小结第115-116页
第六章 总结与展望第116-118页
   ·总结第116-117页
   ·展望第117-118页
参考文献第118-128页
发表论文和参加科研情况说明第128-130页
附录第130-132页
致谢第132-133页

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