| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第10-14页 |
| ·背景 | 第10-11页 |
| ·钙钛矿型铁电体晶体结构及微观机制 | 第11-13页 |
| ·铁电体的畴结构 | 第13-14页 |
| ·热释电原理及应用 | 第14-16页 |
| ·热释电薄膜材料体系 | 第16-17页 |
| ·PNZT 铁电薄膜的电性能 | 第17-20页 |
| ·BFO 铁电薄膜的电性能 | 第20-21页 |
| ·多层铁电薄膜研究概况 | 第21-22页 |
| ·本文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 实验材料的制备及主要分析方法 | 第23-28页 |
| ·实验材料及方法 | 第23-24页 |
| ·衬底材料的选择 | 第23页 |
| ·PNZT 溶胶和BFO 溶胶的制备材料 | 第23-24页 |
| ·薄膜材料的制备 | 第24-25页 |
| ·薄膜材料制备流程 | 第24-25页 |
| ·主要工艺参数 | 第25页 |
| ·顶电极的制备工艺参数 | 第25-26页 |
| ·实验研究方法 | 第26-28页 |
| ·X-ray 衍射分析 | 第26页 |
| ·X 射线?扫描及?扫描分析 | 第26页 |
| ·扫描电镜组织形貌观察 | 第26-27页 |
| ·电性能的测量 | 第27-28页 |
| 第3章 物相和组织结构 | 第28-41页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·BFO 薄膜物相及组织结构 | 第28-30页 |
| ·PNZT 薄膜物相及组织结构 | 第30-32页 |
| ·PNZT/BFO/PNZT 多层薄膜物相及组织结构 | 第32-40页 |
| ·1x1 型多层复合薄膜物相及组织结构 | 第32-34页 |
| ·242 型多层复合薄膜物相及组织结构 | 第34-37页 |
| ·363 型多层复合薄膜物相及组织结构 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 PNZT/BFO/PNZT 复合铁电薄膜织构研究 | 第41-54页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·混合织构的定量分析方法 | 第41-42页 |
| ·PNZT 薄膜的混合织构研究 | 第42-44页 |
| ·复合薄膜混合织构研究 | 第44-52页 |
| ·242 型复合薄膜混合织构 | 第44-48页 |
| ·363 型复合薄膜混合织构 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 PNZT/BFO/PNZT 多层膜的电性能 | 第54-76页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·BFO 和PNZT 薄膜的电性能 | 第54-60页 |
| ·BFO 薄膜的电性能 | 第54-56页 |
| ·PNZT 薄膜的电性能 | 第56-60页 |
| ·复合薄膜的电性能 | 第60-74页 |
| ·1x1 型复合薄膜电性能 | 第60-62页 |
| ·242 型复合薄膜电性能 | 第62-67页 |
| ·363 型复合薄膜电性能 | 第67-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
