| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·铁电材料概述 | 第10-11页 |
| ·铁电隧道结的概念 | 第11-12页 |
| ·铁电隧道结的研究进展 | 第12-14页 |
| ·本文的研究工作 | 第14-15页 |
| 第2章 铁电隧道结的制备与表征方法 | 第15-23页 |
| ·磁控溅射法制备氧化物薄膜 | 第15-18页 |
| ·衬底的处理 | 第15-16页 |
| ·溅射原理及设备 | 第16-18页 |
| ·薄膜结构与形貌表征 | 第18-20页 |
| ·X射线衍射 | 第18-19页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第19-20页 |
| ·薄膜电学性能表征 | 第20-23页 |
| ·四探针测试仪 | 第20-21页 |
| ·铁电参数测试仪 | 第21-23页 |
| 第3章 铁电隧道结的理论研究 | 第23-35页 |
| ·隧穿电阻效应研究的基本理论与方法 | 第23-28页 |
| ·铁电隧道结势垒基本模型 | 第23-25页 |
| ·传输矩阵方法 | 第25-28页 |
| ·单铁电层铁电隧道结的隧穿电阻效应 | 第28-31页 |
| ·具有量子阱结构的铁电隧道结的隧穿电阻效应 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第4章 铁电隧道结的实验研究 | 第35-50页 |
| ·SrRuO_3底电极的制备与性能表征 | 第35-40页 |
| ·溅射气压对SrRuO_3底电极微观形貌和导电性能的影响 | 第35-37页 |
| ·衬底温度对SrRuO_3底电极微观形貌和导电性能的影响 | 第37-39页 |
| ·退火温度对SrRuO_3底电极微观形貌和导电性能的影响 | 第39-40页 |
| ·BaTiO_3铁电超薄膜的制备研究 | 第40-46页 |
| ·溅射气压对BaTiO_3超薄膜微观形貌和电学性能的影响 | 第41-43页 |
| ·衬底温度对BaTiO_3超薄膜微观形貌和电学性能的影响 | 第43-44页 |
| ·溅射功率对BaTiO_3超薄膜微观形貌和电学性能的影响 | 第44-46页 |
| ·铁电隧道结的电输运特性 | 第46-49页 |
| ·SrRuO_3/BaTiO_3/Pt铁电隧道结的电流-电压特性 | 第46-47页 |
| ·SrRuO_3/BaTiO_3/SrRuO_3/SrTiO_3/Pt铁电隧道结的电流-电压特性 | 第47-48页 |
| ·SrRuO_3/BaTiO_3/(SrRuO_3/SrTiO_3)_2/Pt铁电隧道结的电流-电压特性 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
