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SnO2薄膜的制备与性能表征

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-23页
   ·光伏发电技术及其特点第8-9页
   ·减反射膜的光学设计第9-10页
   ·太阳能电池的发展趋势第10-11页
   ·SnO_2的晶体结构和特性第11-14页
   ·SnO_2薄膜的应用和制备方法第14-22页
   ·本文研究的内容和意义第22-23页
2 薄膜生长原理以及测试方法第23-31页
   ·薄膜生长原理和薄膜动力学分析第23-27页
   ·薄膜的测试方法第27-30页
   ·本章小结第30-31页
3 PECVD 法制备 SnO_2薄膜的实验第31-36页
   ·实验原料的选取第31-32页
   ·基片的清洗与预处理第32页
   ·PECVD 制备 SnO_2薄膜实验过程第32-34页
   ·本章小结第34-36页
4 SnO_2薄膜的性能表征与分析第36-40页
   ·SnO_2薄膜的晶体结构第36页
   ·SnO_2薄膜形貌的测试第36-37页
   ·SnO_2薄膜化学成分分析第37-38页
   ·SnO_2薄膜的可见光透过率测试第38页
   ·SnO_2薄膜电性能测试第38页
   ·本章小结第38-40页
5 实验参数对薄膜性能的影响第40-52页
   ·衬底预处理对材料薄膜生长的影响第40页
   ·晶体结构的影响第40-43页
   ·晶体形貌的影响第43-45页
   ·物理性能的影响第45-46页
   ·光学性能的影响第46-48页
   ·电学性能的影响第48-49页
   ·本章小结第49-52页
6 全文总结第52-53页
致谢第53-54页
参考文献第54-57页

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