SnO2薄膜的制备与性能表征
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·光伏发电技术及其特点 | 第8-9页 |
| ·减反射膜的光学设计 | 第9-10页 |
| ·太阳能电池的发展趋势 | 第10-11页 |
| ·SnO_2的晶体结构和特性 | 第11-14页 |
| ·SnO_2薄膜的应用和制备方法 | 第14-22页 |
| ·本文研究的内容和意义 | 第22-23页 |
| 2 薄膜生长原理以及测试方法 | 第23-31页 |
| ·薄膜生长原理和薄膜动力学分析 | 第23-27页 |
| ·薄膜的测试方法 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 PECVD 法制备 SnO_2薄膜的实验 | 第31-36页 |
| ·实验原料的选取 | 第31-32页 |
| ·基片的清洗与预处理 | 第32页 |
| ·PECVD 制备 SnO_2薄膜实验过程 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 4 SnO_2薄膜的性能表征与分析 | 第36-40页 |
| ·SnO_2薄膜的晶体结构 | 第36页 |
| ·SnO_2薄膜形貌的测试 | 第36-37页 |
| ·SnO_2薄膜化学成分分析 | 第37-38页 |
| ·SnO_2薄膜的可见光透过率测试 | 第38页 |
| ·SnO_2薄膜电性能测试 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 5 实验参数对薄膜性能的影响 | 第40-52页 |
| ·衬底预处理对材料薄膜生长的影响 | 第40页 |
| ·晶体结构的影响 | 第40-43页 |
| ·晶体形貌的影响 | 第43-45页 |
| ·物理性能的影响 | 第45-46页 |
| ·光学性能的影响 | 第46-48页 |
| ·电学性能的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-52页 |
| 6 全文总结 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
