| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 引言 | 第10-22页 |
| ·背景 | 第10-13页 |
| ·超稳F-P腔的基本结构 | 第13-15页 |
| ·有限元分析理论 | 第15-18页 |
| ·超稳腔的形变特性 | 第18-22页 |
| 2 振动导致的腔体的形变及振动敏感度的计算公式的推导过程 | 第22-30页 |
| 3 F-P腔振动敏感度的数值分析 | 第30-56页 |
| ·介绍 | 第30-31页 |
| ·FEA采用的光腔模型 | 第31-32页 |
| ·竖直方向加速度敏感度的数值计算结果及其优化过程 | 第32-36页 |
| ·水平方向加速度敏感度的数值计算结果及三个方向的同时优化 | 第36-42页 |
| ·三个方向振动敏感度的同时优化 | 第42-46页 |
| ·FEA方法带来的误差的数值分析 | 第46-56页 |
| 4 小型振动平台的设计 | 第56-62页 |
| 5 真空腔的温度控制系统 | 第62-70页 |
| ·温度控制的原理及电路 | 第62-65页 |
| ·PID控制的原理和方法 | 第65页 |
| ·闭环控制系统 | 第65-68页 |
| ·阶跃响应 | 第68-70页 |
| 6 拍频的测量 | 第70-78页 |
| ·有死区的计数器 | 第71-73页 |
| ·无死区的计数器 | 第73-74页 |
| ·基于labvIEW的数据采集 | 第74-78页 |
| 7 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第83页 |