丙烯酸酯光固化动力学及PCB用光致抗蚀剂的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·前言 | 第10页 |
| ·光固化机理 | 第10-11页 |
| ·丙烯酸酯紫外光固化动力学的研究进展 | 第11-15页 |
| ·光固化动力学的研究方法 | 第11-12页 |
| ·体系组分对光固化的影响 | 第12-13页 |
| ·固化条件对光固化的影响 | 第13-15页 |
| ·光致抗蚀剂 | 第15-18页 |
| ·传统光致抗蚀剂 | 第16-17页 |
| ·新型的紫外光致抗蚀剂 | 第17-18页 |
| ·本课题的提出及研究内容 | 第18-19页 |
| ·可行性分析 | 第19-20页 |
| 第二章 丙烯酸酯光固化动力学的研究 | 第20-58页 |
| ·前言 | 第20页 |
| ·实验部分 | 第20-23页 |
| ·实验药品 | 第20-23页 |
| ·实验仪器 | 第23页 |
| ·样品的制备及测试 | 第23页 |
| ·结果与讨论 | 第23-56页 |
| ·数据处理 | 第23-25页 |
| ·光引发剂含量对光固化的影响 | 第25-28页 |
| ·光引发剂种类对光固化的影响 | 第28-29页 |
| ·不同官能度单体对光固化的影响 | 第29-31页 |
| ·单体结构对光固化的影响 | 第31-34页 |
| ·不同齐聚物种类对光固化的影响 | 第34-37页 |
| ·齐聚物分子链刚柔性对光固化的影响 | 第37-38页 |
| ·填料SiO_2对不同齐聚体体系光固化的影响 | 第38-41页 |
| ·光强对光固化的影响 | 第41-43页 |
| ·温度对光固化的影响 | 第43-45页 |
| ·光照时间对光固化的影响 | 第45-47页 |
| ·氧阻聚对光固化的影响 | 第47-55页 |
| ·聚氨酯丙烯酸酯光固化动力学模型 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第三章 PCB电路板用光致抗蚀剂的研究 | 第58-74页 |
| ·前言 | 第58-59页 |
| ·实验部分 | 第59-63页 |
| ·实验药品 | 第59-61页 |
| ·实验仪器 | 第61页 |
| ·实验方法 | 第61-63页 |
| ·结果与讨论 | 第63-72页 |
| ·光致抗蚀剂在铝箔上的附着力的研究 | 第63-68页 |
| ·酸性刻蚀液刻蚀结果 | 第68-71页 |
| ·碱性刻蚀液刻蚀结果 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第四章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·总结 | 第74-75页 |
| ·创新点 | 第75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
