纳米线/金属电极接触的有限元研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-21页 |
| §1.1 金属与纳米线互连的应用与基础 | 第9-13页 |
| §1.1.1 金属与纳米线互连的应用 | 第9-10页 |
| §1.1.2 金属与纳米线互连的理论基础 | 第10-11页 |
| §1.1.3 肖特基电流输运的物理机制 | 第11-13页 |
| §1.2 半导体数值模拟的方法与背景 | 第13-16页 |
| §1.2.1 半导体模拟的模型 | 第13-15页 |
| §1.2.2 模拟的计算方法 | 第15-16页 |
| §1.3 本论文研究的意义、思路及主要内容 | 第16-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 数值模拟的模型与处理 | 第21-39页 |
| §2.1 模型的基本方程及归一化 | 第21-29页 |
| §2.1.1 基本方程的选择与处理 | 第21-25页 |
| §2.1.2 归一化 | 第25页 |
| §2.1.3 参数模型 | 第25-28页 |
| §2.1.4 边界条件 | 第28-29页 |
| §2.2 网格的划分 | 第29-32页 |
| §2.3 单元分析 | 第32-34页 |
| §2.3.1 单元的分析 | 第32-33页 |
| §2.3.2 合成总体矩阵 | 第33-34页 |
| §2.4 方程的求解 | 第34-36页 |
| 参考文献 | 第36-39页 |
| 第三章 纳米线与电极接触的形状分析 | 第39-49页 |
| §3.1 参数的计算 | 第39-41页 |
| §3.2 不同接触尺寸对性能的影响 | 第41-45页 |
| §3.2.1 电极间距对器件性能的影响 | 第42-43页 |
| §3.2.2 接触宽度对器件性能的影响 | 第43-44页 |
| §3.2.3 纳米线直径大小对性能的影响 | 第44-45页 |
| §3.3 小结 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 纳米线与电极接触的掺杂浓度及接触类型分析 | 第49-58页 |
| §4.1 掺杂浓度对纳米线电极接触性能的影响 | 第49-51页 |
| §4.2 双电极纳米线势垒对称性对性能的影响 | 第51-54页 |
| §4.3 小结 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-59页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
