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AZ31镁合金表面磁控溅射氮化钛铝薄膜及其性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
1 绪论第8-29页
   ·引言第8页
   ·镁及镁合金第8-10页
     ·镁合金的性质及分类第8-9页
     ·镁合金的应用第9-10页
   ·镁合金的腐蚀及防护第10-15页
     ·镁合金的腐蚀类型第10-11页
     ·镁合金腐蚀的影响因素第11-12页
     ·镁合金的腐蚀机理第12-13页
     ·镁合金的表面防护第13-15页
   ·物理气相沉积技术及研究进展第15-25页
     ·物理气相沉积技术第15-17页
     ·溅射镀膜原理第17-20页
     ·镁合金表面 PVD 膜层的研究现状第20-25页
   ·氮化钛铝第25-28页
     ·氮化钛铝的特性与应用第25-26页
     ·氮化钛铝的研究现状第26-28页
   ·课题研究的目的与意义第28-29页
2 实验方法及测试手段第29-37页
   ·仪器及原材料第29-30页
   ·氮化钛铝硬质薄膜的制备第30-32页
     ·镁合金表面预处理第30页
     ·氮化钛铝薄膜的制备第30-32页
   ·薄膜性能的测试第32-37页
     ·电化学检测第32-33页
     ·表面形貌检测第33页
     ·微观结构分析第33-34页
     ·表面组成分析第34-35页
     ·薄膜厚度、表面粗糙度及硬度检测第35-37页
3 氮化钛铝薄膜的制备及性能研究第37-52页
   ·实验方案第37-38页
   ·制备工艺参数对薄膜性能的影响第38-43页
     ·铝靶功率对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响第38-39页
     ·钛靶功率对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响第39-40页
     ·氮气流量对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响第40-41页
     ·溅射时间对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响第41-43页
   ·氮化钛铝薄膜的表征第43-48页
     ·氮化钛铝薄膜微观结构分析第43-44页
     ·氮化钛铝薄膜的表面成分分析第44-46页
     ·氮化钛铝薄膜的表面形貌分析第46-47页
     ·氮化钛铝薄膜的力学性能分析第47-48页
   ·氮化钛铝薄膜的耐腐蚀性能分析第48-52页
     ·氮化钛铝薄膜的极化曲线分析第48-50页
     ·氮化钛铝镀膜样品的交流阻抗谱第50-52页
4(Al、Zr、Ti)-TiAlN 复合膜保护性研究第52-58页
   ·复合膜层的设计第52页
   ·(Al、Zr、Ti)-TiAlN 复合膜的耐腐蚀性能分析第52-55页
   ·膜基附着力第55-58页
5 结论第58-60页
   ·主要结论第58页
   ·创新点第58-59页
   ·展望第59-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-66页
附录第66页
 作者在攻读学位期间发表的论文目录第66页

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