接触式表面轮廓测量系统中的微恒力技术

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·课题的来源	第8页
·目的及意义	第8-9页
·发展概况	第9-11页
·应用前景预测	第11-12页
·本课题的主要研究内容	第12-14页
2 微恒力系统的选型	第14-19页
·表面测量仪的简介	第14-15页
·微恒力技术	第15-17页
·磁恒力方案的可行性	第17-18页
·本章小结	第18-19页
3 微恒力系统的设计	第19-31页
·磁力系统的磁路方案	第19-21页
·磁路的设计	第21-27页
·材料的选择	第27-28页
·磁路的特性及聚磁	第28-29页
·磁力部分尺寸的初步确定	第29-30页
·本章小结	第30-31页
4 磁路的仿真及优化	第31-47页
·仿真软件	第31页
·电磁场的求解理论	第31-33页
·磁力的仿真与优化	第33-46页
·本章小结	第46-47页
5 基于微恒力控制技术的表面轮廓仪	第47-53页
·轮廓仪的基本原理	第47-49页
·轮廓仪的结构	第49-52页
·本章小结	第52-53页
6 全文总结与展望	第53-55页
·全文总结	第53-54页
·展望	第54-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-58页