| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-10页 |
| ·硅基光子学的发展 | 第8-9页 |
| ·本文工作 | 第9-10页 |
| 2 单模SOI 脊形光波导的分析与模拟 | 第10-36页 |
| ·光波导的理论分析 | 第10-19页 |
| ·SOI 脊形光波导的分析 | 第19-24页 |
| ·SOI 光波导的模拟与设计 | 第24-34页 |
| ·小结 | 第34-36页 |
| 3 SOI 光波导的制作工艺 | 第36-47页 |
| ·光波导的制作流程 | 第36-44页 |
| ·热氧化 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 4 测试结果与问题讨论 | 第47-55页 |
| ·光刻和刻蚀的测试结果 | 第47-53页 |
| ·光学测试平台 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 5 总结 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第61页 |