| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 绪论 | 第11-18页 |
| ·等离子体概述 | 第11-12页 |
| ·低温等离子体的产生 | 第12-13页 |
| ·等离子体工艺在半导体工业中的应用 | 第13-14页 |
| ·常用数值模拟方法 | 第14-16页 |
| ·本文研究内容和结构安排 | 第16-18页 |
| 2 理论模型 | 第18-22页 |
| ·流体力学方程 | 第18-20页 |
| ·描述电子运动 | 第18-19页 |
| ·描述离子的运动 | 第19-20页 |
| ·描述中性粒子的运动 | 第20页 |
| ·描述电场 | 第20页 |
| ·算法 | 第20-21页 |
| ·模拟腔室结构示意图 | 第21-22页 |
| 3 结果与分析 | 第22-40页 |
| ·两种离子方程算法的模拟结果与COMSOL软件模拟的对比 | 第22-25页 |
| ·电子密度和离子密度轴向分布 | 第22-23页 |
| ·离子密度径向分布 | 第23-24页 |
| ·电子温度 | 第24-25页 |
| ·轴向电位降 | 第25页 |
| ·不同气压的情况 | 第25-30页 |
| ·电子密度和离子密度轴向分布 | 第26-27页 |
| ·离子密度径向分布 | 第27-28页 |
| ·电子温度 | 第28-29页 |
| ·轴向电位降 | 第29-30页 |
| ·不同高频电压的情况 | 第30-34页 |
| ·电子密度和离子密度的轴向分布 | 第30-31页 |
| ·离子密度的径向分布 | 第31-32页 |
| ·电子温度 | 第32-33页 |
| ·电位降 | 第33-34页 |
| ·高频频率的影响 | 第34-36页 |
| ·电子密度和离子密度轴向分布和径向分布 | 第34-35页 |
| ·轴向电位降 | 第35-36页 |
| ·电子温度 | 第36页 |
| ·低频频率的影响 | 第36-39页 |
| ·电子和离子密度的轴向和径向分布 | 第37-38页 |
| ·轴向电位降和电子温度 | 第38-39页 |
| ·本章小节 | 第39-40页 |
| 4 腔室结构的影响 | 第40-54页 |
| ·不同电极半径的影响 | 第40-44页 |
| ·离子密度空间分布 | 第40-42页 |
| ·电子密度和离子密度轴向和径向分布 | 第42-43页 |
| ·电位降和电子温度 | 第43-44页 |
| ·不同极板间距的影响 | 第44-48页 |
| ·离子密度的空间分布 | 第44-46页 |
| ·电子和离子密度的轴向和径向分布 | 第46-47页 |
| ·轴向电场 | 第47页 |
| ·电位降和电子温度 | 第47-48页 |
| ·时间步长的影响 | 第48-51页 |
| ·电子和离子密度的轴向和径向分布 | 第49-50页 |
| ·电子温度和电位降 | 第50-51页 |
| ·空间步长的影响 | 第51-53页 |
| ·电子和离子密度的分布 | 第51-52页 |
| ·轴向电场 | 第52页 |
| ·电位降和电子温度 | 第52-53页 |
| ·本章小节 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |