| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题背景 | 第9-12页 |
| ·金刚石材料介绍 | 第10-11页 |
| ·单晶金刚石的应用 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-22页 |
| ·单晶金刚石的研磨和抛光技术 | 第16-19页 |
| ·单晶金刚石材料的去除方式 | 第19-21页 |
| ·目前加工方法存在的问题 | 第21-22页 |
| ·课题来源与研究内容 | 第22-23页 |
| ·课题来源 | 第22页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| 2 单晶金刚石的机械研磨 | 第23-30页 |
| ·机械研磨试验条件 | 第23-27页 |
| ·机械研磨试验材料与设备 | 第23-24页 |
| ·单晶金刚石试件粘结方案 | 第24-25页 |
| ·研磨压力 | 第25-27页 |
| ·单晶金刚石的机械研磨试验及结果分析 | 第27-29页 |
| ·机械研磨试验 | 第27-28页 |
| ·机械研磨试验结果分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 单晶金刚石的化学机械抛光工艺 | 第30-50页 |
| ·化学机械抛光试验条件 | 第30-35页 |
| ·化学机械抛光试验材料与设备 | 第30-31页 |
| ·抛光压力 | 第31-32页 |
| ·抛光液 | 第32-34页 |
| ·单晶金刚石试件的表面清洗方案 | 第34-35页 |
| ·抛光盘特征对单晶金刚石抛光效果的影响 | 第35-44页 |
| ·抛光盘表面形貌对单晶金刚石抛光效果的影响 | 第35-40页 |
| ·抛光盘面形对单晶金刚石抛光效果的影响 | 第40-42页 |
| ·抛光盘硬度对单晶金刚石抛光效果的影响 | 第42-44页 |
| ·单晶金刚石的化学机械抛光试验及结果分析 | 第44-49页 |
| ·抛光试验 | 第44页 |
| ·抛光试验结果分析 | 第44-46页 |
| ·单晶金刚石表面划痕的去除 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 单晶金刚石的机械研磨与化学机械抛光组合加工工艺 | 第50-61页 |
| ·试验条件 | 第50-52页 |
| ·机械研磨与化学机械抛光组合加工工艺试验 | 第52-56页 |
| ·单晶金刚石加工后表面分析 | 第56-60页 |
| ·单晶金刚石加工表面Raman分析 | 第56-58页 |
| ·单晶金刚石加工表面XPS分析 | 第58-59页 |
| ·单晶金刚石的表面形成过程 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文与专利情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |