| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·超导量子比特 | 第9-10页 |
| ·共面波导的特性 | 第10-11页 |
| ·超导共面波导谐振腔的研究现状 | 第11-13页 |
| 第二章 半波长开路CPW谐振腔 | 第13-20页 |
| ·半波长开路谐振腔的传输线理论与等效电路模型 | 第13-15页 |
| ·并联RLC谐振电路 | 第13-14页 |
| ·半波长开路谐振腔 | 第14-15页 |
| ·半波长谐振腔的测量方案与原理 | 第15-20页 |
| ·谐振腔谐振点与Q值的测量方案 | 第15-17页 |
| ·矢量网络分析仪测量谐振腔原理 | 第17-20页 |
| 第三章 基于高阻硅衬底的SCPW谐振腔的设计、制备与测量 | 第20-31页 |
| ·半波长开路SCPW谐振腔的设计 | 第20-21页 |
| ·Nb薄膜谐振腔的制备过程 | 第21-25页 |
| ·300 nm厚度Nb薄膜谐振腔的测量 | 第25-31页 |
| ·测量电路的设计 | 第25-27页 |
| ·4.2K 测量结果分析 | 第27-31页 |
| 第四章 薄膜厚度与温度对谐振腔特性的影响 | 第31-41页 |
| ·伦敦方程理论的简介 | 第31-32页 |
| ·薄膜厚度对谐振腔特性的影响 | 第32-39页 |
| ·动态电感的计算 | 第32-34页 |
| ·薄膜厚度对谐振频率点的影响 | 第34-35页 |
| ·薄膜厚度对于Q值的影响 | 第35-37页 |
| ·不同厚度Nb和NbN薄膜谐振腔测量结果 | 第37-39页 |
| ·300 nm厚度Nb薄膜谐振腔特性随温度的变化 | 第39-41页 |
| 第五章 可调谐谐振腔 | 第41-49页 |
| ·DC-SQUID工作原理 | 第41-44页 |
| ·可调谐谐振腔的制备与测量 | 第44-47页 |
| ·基于石墨烯的可调CPW谐振腔的制备 | 第47-49页 |
| 第六章 总结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 硕士期间研究成果(2010-2013) | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |