压电自适应微细电火花加工系统研究
| 摘要 | 第1-13页 |
| ABSTRACT | 第13-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-27页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·微细加工技术的研究进展 | 第16-21页 |
| ·微细车削 | 第16-17页 |
| ·微细铣削 | 第17-18页 |
| ·MEMS制造技术 | 第18-19页 |
| ·微细电化学加工 | 第19页 |
| ·微细线切割加工 | 第19-20页 |
| ·微细电火花加工 | 第20-21页 |
| ·微细电火花加工技术的研究进展 | 第21-25页 |
| ·微细电极的制作技术的研究进展 | 第21-22页 |
| ·微能脉冲电源的研究进展 | 第22-23页 |
| ·微细电火花加工装置的研究进展 | 第23-25页 |
| ·本课题研究目的和意义 | 第25-26页 |
| ·本课题的来源和研究内容 | 第26-27页 |
| 第2章 压电自适应微细电火花加工原理 | 第27-39页 |
| ·微细电火花加工的特点 | 第27-28页 |
| ·压电致动器 | 第28-30页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第28-29页 |
| ·压电致动器的工作原理 | 第29-30页 |
| ·压电自适应微细电火花加工原理 | 第30-34页 |
| ·压电自适应微细电火花加工装置 | 第30-32页 |
| ·工作原理 | 第32-33页 |
| ·压电自适应微细电火花加工特点 | 第33-34页 |
| ·放电能量分析 | 第34-36页 |
| ·实现微细加工的实验验证 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 压电自适应微细电火花加工装置设计 | 第39-55页 |
| ·微细电火花加工对加工系统的技术要求 | 第39-40页 |
| ·微细电火花加工装置的总体方案设计 | 第40-43页 |
| ·设计方案对比 | 第40-42页 |
| ·加工装置的总体设计 | 第42-43页 |
| ·机械系统部分设计 | 第43-50页 |
| ·宏微伺服机构 | 第43-46页 |
| ·花岗岩基座 | 第46-47页 |
| ·机床立柱设计 | 第47页 |
| ·旋转主轴及上电装置 | 第47-50页 |
| ·电极反拷机构 | 第50页 |
| ·电气部分设计 | 第50-52页 |
| ·RC脉冲电源 | 第50-51页 |
| ·放电间隙检测电路 | 第51-52页 |
| ·压电自适应微细电火花加工装置的实现 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 机床立柱的有限元分析 | 第55-67页 |
| ·ABAQUS动静态分析基础 | 第55页 |
| ·机床立柱的静力分析 | 第55-62页 |
| ·立柱受力分析 | 第56-57页 |
| ·立柱的有限元分析过程 | 第57-60页 |
| ·有限元计算结果分析 | 第60-62页 |
| ·立柱的模态分析 | 第62-65页 |
| ·立柱模态分析步骤 | 第63页 |
| ·结果分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 压电自适应微细电火花加工实验及特性分析 | 第67-81页 |
| ·实验基础 | 第67-68页 |
| ·微细电火花加工装置性能测试 | 第68-73页 |
| ·压电致动器性能测试 | 第68-69页 |
| ·压电致动器振幅和频率分析 | 第69-71页 |
| ·加工性能测试 | 第71-72页 |
| ·放电间隙与开路电压的关系分析 | 第72-73页 |
| ·放电特性分析 | 第73-75页 |
| ·实现短路自消除 | 第73-74页 |
| ·提高加工过程稳定性 | 第74页 |
| ·可实现超低电压下的电火花加工 | 第74-75页 |
| ·提高脉冲电源的有效脉冲利用率 | 第75页 |
| ·不稳定现象分析 | 第75-77页 |
| ·短路现象 | 第76页 |
| ·拉弧现象 | 第76-77页 |
| ·加工实验 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第89-90页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第90页 |
