| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·目的和意义 | 第7-9页 |
| ·国内外发展现状 | 第9-13页 |
| ·本文主要工作和章节安排 | 第13-15页 |
| 2 离子源等离子体研究 | 第15-31页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·等离子体基本理论 | 第15-24页 |
| ·冷阴极 PIG 内离子源等离子体产生研究 | 第24-26页 |
| ·磁场对气体电离的影响研究 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 离子源离子束流引出系统研究 | 第31-46页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·束流引出原理 | 第32-33页 |
| ·空间电荷限制流 | 第33-35页 |
| ·束流引出模拟方法研究 | 第35-37页 |
| ·束流引出计算结果 | 第37-44页 |
| ·离子源中心区 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 全文总结 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |