| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题研究背景 | 第10页 |
| ·有机薄膜制作技术发展现状 | 第10-15页 |
| ·有机气相沉积 | 第15-16页 |
| ·有机气相喷涂 | 第16-17页 |
| ·课题研究意义 | 第17页 |
| ·本论文的主要工作 | 第17-19页 |
| 第二章 有机气相沉积技术 | 第19-36页 |
| ·OVPD中材料的蒸发过程 | 第19-21页 |
| ·OVPD中气体的传输过程及模拟研究 | 第21-26页 |
| ·仿真模型的建立 | 第23-24页 |
| ·模型中温度场与流体场的耦合仿真 | 第24-26页 |
| ·OVPD中分子沉积过程的模拟研究 | 第26-31页 |
| ·利用蒙特卡洛法对沉积过程进行仿真 | 第28-29页 |
| ·仿真结果分析 | 第29-31页 |
| ·OVPD加掩膜的条件下分子的沉积过程 | 第31-35页 |
| ·分子通过掩膜的蒙特卡洛仿真 | 第31-32页 |
| ·仿真结果分析 | 第32-34页 |
| ·OVPD加掩膜与VTE成膜的比较 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 大气环境下进行有机气相喷涂的模拟研究 | 第36-57页 |
| ·OVJP的理论分析及研究 | 第36-43页 |
| ·OVJP动力学机制仿真 | 第38-40页 |
| ·OVJP中薄膜沉积过程的模拟研究 | 第40-43页 |
| ·大气环境下应用有机气相喷涂 | 第43-56页 |
| ·大气环境下进行有机气相喷涂的原理 | 第44页 |
| ·喷头模型的建立 | 第44-46页 |
| ·喷涂气流的模拟研究 | 第46-56页 |
| ·模型a1条件下的气体动力学分析 | 第47-48页 |
| ·模型a2条件下的气体动力学分析 | 第48-49页 |
| ·模型a3条件下的气体动力学分析 | 第49-50页 |
| ·喷头至基底距离对喷涂的影响 | 第50页 |
| ·主喷头与环形喷头夹角对喷涂气流的影响 | 第50-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 有机气相喷涂系统的制作及实验 | 第57-75页 |
| ·系统设计 | 第57-63页 |
| ·系统内部的温度场测量及改进 | 第63-66页 |
| ·系统内部温度场测量 | 第63-64页 |
| ·系统的改进 | 第64-66页 |
| ·基于喷涂系统的实验及结果分析 | 第66-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 基于硅湿法刻蚀技术制作微喷头的初步研究 | 第75-84页 |
| ·各向同性刻蚀的初步研究 | 第75-81页 |
| ·铬金属层加BP212型正胶的多层掩膜结构刻蚀研究 | 第76-79页 |
| ·铬与负胶多层掩膜结构的刻蚀研究 | 第79-81页 |
| ·各向异性刻蚀在微通道制作中的应用 | 第81-82页 |
| ·电化学刻蚀在微通道制作中的应用 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 结论 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第91页 |