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SiC一维纳米材料的N掺杂及场发射性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
1 绪论第10-38页
   ·引言第10-11页
   ·宽带隙半导体一维纳米结构的研究概况第11-19页
     ·一维纳米材料概述第11-14页
     ·GaN 一维纳米结构第14-16页
     ·ZnO 一维纳米材料第16-17页
     ·Si_3N_4 一维纳米结构第17-18页
     ·Ga_2O_3 一维纳米材料第18-19页
   ·SiC 及其一维纳米材料研究概述第19-25页
     ·SiC 多型的晶体结构第19-21页
     ·SiC 的物理和化学性质第21-22页
     ·SiC 的重要应用第22-23页
     ·SiC 一维纳米材料的研究概述第23-25页
   ·纳米材料的掺杂第25-28页
     ·纳米材料的掺杂概述第25-26页
     ·SiC 的n 型和p 型掺杂第26-27页
     ·SiC 掺杂研究概况第27-28页
   ·场发射概述第28-34页
     ·场发射原理第28-32页
     ·场致发射研究的意义第32-33页
     ·场致发射的研究概况第33-34页
   ·本文选题依据、主要内容及创新点第34-38页
     ·本文的选题依据第34-35页
     ·本文的研究内容第35-36页
     ·本文的主要创新点第36-38页
2 实验部分第38-46页
   ·实验所用主要原料和仪器设备第38页
     ·实验所用主要原料及辅助材料第38页
     ·实验所用主要仪器设备第38页
   ·实验方法第38-41页
     ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的合成工艺方法第38-39页
     ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的等离子体处理实验方法第39-40页
     ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的纯化处理实验方法第40页
     ·不同形貌SiC 一维纳米材料的合成工艺方法第40-41页
   ·SiC 一维纳米材料的场发射性能研究方法第41-44页
     ·场发射性能测试装置第41-42页
     ·超高真空系统第42-43页
     ·场发射特性测试步骤第43-44页
     ·评价参数第44页
   ·SiC 一维纳米材料的主要表征方法第44-46页
3 N 掺杂 SiC 一维纳米材料的合成及场发射性能研究第46-56页
   ·引言第46-47页
   ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的形貌分析第47-48页
   ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的化学组成第48页
   ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的微观结构分析第48-52页
   ·N 掺杂SiC 一维纳米材料的场发射性能测试及机理分析第52-55页
   ·本章小结第55-56页
4 N 掺杂 SiC 一维纳米材料的等离子处理及场发射性能研究第56-62页
   ·引言第56-57页
   ·等离子体处理前后N 掺杂SiC 一维纳米材料的形貌分析第57-59页
   ·等离子体处理后N 掺杂SiC 一维纳米材料的微观结构分析第59-60页
   ·等离子体处理前后N 掺杂SiC 一维纳米材料的场发射性能研究第60-61页
   ·本章小结第61-62页
5 N 掺杂 SiC 一维纳米材料的纯化及场发射性能研究第62-70页
   ·引言第62-63页
   ·纯化前后N 掺杂SiC 一维纳米材料的形貌分析第63-64页
   ·纯化前后N 掺杂SiC 一维纳米材料的微观结构分析第64-65页
   ·纯化前后N 掺杂SiC 一维纳米材料的场发射性能研究第65-68页
   ·本章小结第68-70页
6 不同形貌 SiC 一维纳米材料的场发射性能研究第70-78页
   ·引言第70-71页
   ·不同形貌SiC 一维纳米材料的形貌和微观结构分析第71-73页
   ·不同形貌SiC 一维纳米材料的场发射性能研究第73-74页
   ·不同形貌SiC 一维纳米材料的场发射性能变化规律的机理研究第74-76页
   ·本章小结第76-78页
结论第78-80页
参考文献第80-88页
致谢第88-89页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及获奖目录第89-90页

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