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DLC薄膜力学响应的有限元分析

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第1章 绪论第9-19页
   ·引言第9页
   ·薄膜结合强度的测定方法第9-12页
   ·薄膜的破坏形式第12-13页
   ·国内外研究现状第13-15页
   ·DLC薄膜及其结合强度研究第15-16页
   ·本文的主要研究工作第16-19页
第2章 弹性力学及有限元基本理论第19-29页
   ·弹性理论简介第19-21页
     ·三组基本方程第19-20页
     ·边界条件第20页
     ·平面问题第20-21页
   ·界面力学基本理论第21-23页
   ·断裂力学简介第23-25页
   ·有限元法及ANSYS简介第25-29页
     ·有限元法简介第25-26页
     ·ANSYS简介第26-29页
第3章 外载荷下无裂纹的DLC薄膜应力有限元分析第29-47页
   ·有限元模型的建立及验证第29-32页
     ·有限元模型描述第29-30页
     ·有限元模型准确性评估第30-32页
   ·结果与分析第32-45页
     ·总体应力分布情况第32-35页
     ·摩擦系数对应力分布的影响第35-39页
     ·膜厚比对应力分布的影响第39-43页
     ·薄膜/基底弹性模量比对于薄膜系统内部应力分布的影响第43-45页
   ·小结第45-47页
第4章 外载荷下带有界面裂纹的薄膜应力有限元分析第47-55页
   ·引言第47页
   ·有限元模型建立第47-48页
   ·不同厚度情况下裂纹计算与分析第48-49页
   ·不同裂纹尺寸对内部应力的影响第49-53页
     ·裂纹长度不同对薄膜系统内部应力的影响第49-51页
     ·裂纹宽度不同对薄膜系统内部应力的影响第51-53页
   ·小结第53-55页
第5章 结论与展望第55-57页
   ·结论第55页
   ·展望第55-57页
参考文献第57-61页
致谢第61-63页
附录第63-68页

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