| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·薄膜结合强度的测定方法 | 第9-12页 |
| ·薄膜的破坏形式 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·DLC薄膜及其结合强度研究 | 第15-16页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第16-19页 |
| 第2章 弹性力学及有限元基本理论 | 第19-29页 |
| ·弹性理论简介 | 第19-21页 |
| ·三组基本方程 | 第19-20页 |
| ·边界条件 | 第20页 |
| ·平面问题 | 第20-21页 |
| ·界面力学基本理论 | 第21-23页 |
| ·断裂力学简介 | 第23-25页 |
| ·有限元法及ANSYS简介 | 第25-29页 |
| ·有限元法简介 | 第25-26页 |
| ·ANSYS简介 | 第26-29页 |
| 第3章 外载荷下无裂纹的DLC薄膜应力有限元分析 | 第29-47页 |
| ·有限元模型的建立及验证 | 第29-32页 |
| ·有限元模型描述 | 第29-30页 |
| ·有限元模型准确性评估 | 第30-32页 |
| ·结果与分析 | 第32-45页 |
| ·总体应力分布情况 | 第32-35页 |
| ·摩擦系数对应力分布的影响 | 第35-39页 |
| ·膜厚比对应力分布的影响 | 第39-43页 |
| ·薄膜/基底弹性模量比对于薄膜系统内部应力分布的影响 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第4章 外载荷下带有界面裂纹的薄膜应力有限元分析 | 第47-55页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·有限元模型建立 | 第47-48页 |
| ·不同厚度情况下裂纹计算与分析 | 第48-49页 |
| ·不同裂纹尺寸对内部应力的影响 | 第49-53页 |
| ·裂纹长度不同对薄膜系统内部应力的影响 | 第49-51页 |
| ·裂纹宽度不同对薄膜系统内部应力的影响 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第5章 结论与展望 | 第55-57页 |
| ·结论 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 附录 | 第63-68页 |