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反应溅射ZnO薄膜在大功率半导体激光器中的工艺特性

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-14页
   ·半导体激光器的发展第7-9页
   ·半导体激光器的应用第9-11页
   ·半导体激光器腔面镀膜的原因第11-12页
   ·大功率半导体激光器镀腔面膜的设计要求第12页
   ·本论文工作的目的及其研究的主要内容第12-14页
第二章 半导体激光器理论基础第14-20页
   ·半导体激光器的原理第14-17页
   ·半导体激光器的结构第17-18页
   ·激光器腔面膜设计基本考虑第18-20页
第三章 氧化锌薄膜制备及其表征第20-27页
   ·膜面薄膜材料的选择及其要求第20页
   ·氧化锌的基本性质第20-27页
第四章 ZnO薄膜的磁控溅射制备工艺和薄膜性质分析第27-40页
   ·磁控溅射原理第27-29页
   ·实验所需材料和设备第29-30页
   ·衬底的选择与处理第30-31页
   ·ZnO薄膜的制备流程第31-32页
   ·不同溅射条件下ZnO薄膜的性质研究第32-40页
第五章 ZnO薄膜在808nm激光器中的应用特性第40-43页
第六章 总结及展望第43-45页
参考文献第45-47页
致谢第47页

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