太阳模拟器中负滤光片的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·光学薄膜简介 | 第7-8页 |
| ·光学薄膜的应用 | 第8页 |
| ·光学薄膜的概念、分类及其性质 | 第8-11页 |
| ·负滤光片的含义 | 第11-13页 |
| 第二章 薄膜理论 | 第13-16页 |
| ·单层增透膜的原理 | 第13-14页 |
| ·膜系的等效折射率 | 第14-15页 |
| ·导纳矩阵法推导多层介质薄膜的光学特性 | 第15-16页 |
| 第三章 滤光片的设计 | 第16-23页 |
| ·技术指标 | 第16-17页 |
| ·基片的选择 | 第17-18页 |
| ·薄膜材料的选择 | 第18-20页 |
| ·透明度 | 第18页 |
| ·折射率 | 第18-19页 |
| ·各种薄膜材料的性质 | 第19-20页 |
| ·膜系设计 | 第20-23页 |
| 第四章 设备简介及膜层厚度控制 | 第23-27页 |
| ·设备简介 | 第23-25页 |
| ·膜厚监控原理 | 第25-27页 |
| 第五章 镀膜实验及膜层特性测试 | 第27-38页 |
| ·影响工艺的因素 | 第27-28页 |
| ·单层膜实验 | 第28-32页 |
| ·多层膜的镀制过程 | 第32-38页 |
| ·基片的清洗 | 第33页 |
| ·蒸镀过程 | 第33-34页 |
| ·膜层制备与光谱测试 | 第34-36页 |
| ·膜层性能的测试 | 第36-38页 |
| 结论 | 第38-39页 |
| 致谢 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40页 |
