脉冲激光沉积后硒化法制备CIGS薄膜
摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-10页 |
第一章 引言 | 第10-16页 |
·太阳电池概述 | 第10-12页 |
·太阳电池的发展背景及意义 | 第10页 |
·太阳电池的发展 | 第10-12页 |
·CIGS薄膜太阳电池简介 | 第12-15页 |
·CIGS电池的发展现状 | 第12-13页 |
·CIGS电池的结构及优点 | 第13-15页 |
·本研究的目的和意义 | 第15-16页 |
第二章 实验 | 第16-23页 |
·镀膜设备和实验材料 | 第16-18页 |
·脉冲激光沉积(PLD)概述及原理 | 第16-17页 |
·镀膜设备 | 第17-18页 |
·实验材料 | 第18页 |
·实验的基本原理及设计 | 第18-20页 |
·实验的基本原理 | 第18-19页 |
·实验设计 | 第19-20页 |
·薄膜制备 | 第20-23页 |
·CIG预制膜的制备 | 第20-22页 |
·硒化工艺 | 第22-23页 |
第三章 结果与讨论 | 第23-35页 |
·检测设备 | 第23-25页 |
·厚度检测 | 第23-24页 |
·扫描电镜(SEM)、X射线能谱(EDS)分析 | 第24页 |
·X射线衍射(XRD)分析 | 第24页 |
·薄膜光学性能检测 | 第24-25页 |
·测试结果与分析 | 第25-35页 |
·CIG预制膜的制备分析结果 | 第25-26页 |
·组分配比工艺测定结果 | 第26-28页 |
·热处理工艺测定结果 | 第28-35页 |
第四章 结论 | 第35-36页 |
参考文献 | 第36-38页 |
致谢 | 第38-39页 |
硕士期间发表学术论文 | 第39页 |
硕士期间参加的科研课题 | 第39页 |