| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪 论 | 第10-22页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·铁电薄膜研究的发展历史和现状 | 第11-13页 |
| ·铁电薄膜材料的应用进展 | 第13-16页 |
| ·压电薄膜的应用 | 第14-15页 |
| ·热释电薄膜的应用 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·溅射法 | 第17页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第17-18页 |
| ·金属有机化学气相沉积法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·聚合物前驱体法 | 第19-20页 |
| ·铁电薄膜材料－钽酸锂 | 第20页 |
| ·课题研究的主要内容及创新点 | 第20-22页 |
| 第2章 钽酸锂前驱体溶胶的制备与表征 | 第22-40页 |
| ·实验 | 第22-23页 |
| ·原材料选择及仪器装置 | 第22-23页 |
| ·所用分析仪器 | 第23页 |
| ·金属-羟基羧酸配合物的制备 | 第23-26页 |
| ·Ta-柠檬酸配合物的配制 | 第24页 |
| ·Ta-柠檬酸溶液中金属离子浓度的确定 | 第24-25页 |
| ·柠檬酸加入量的影响 | 第25-26页 |
| ·Li-Ta 前驱体溶胶的制备 | 第26-30页 |
| ·Li-Ta 前驱体溶胶的制备工艺流程 | 第26页 |
| ·pH 值的确定 | 第26-28页 |
| ·柠檬酸用量的确定 | 第28-29页 |
| ·乙二醇用量的确定 | 第29-30页 |
| ·Li-Ta 前驱体溶液的表征 | 第30-39页 |
| ·Li-Ta 前驱体溶液的红外光谱的分析 | 第30页 |
| ·Li-Ta 前驱体溶液的拉曼光谱分析 | 第30-32页 |
| ·Li-Ta 前驱体溶液的13C 核磁共振光谱分析 | 第32-38页 |
| ·Li-Ta 前驱体凝胶的差热-热重分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 钽酸锂薄膜的制备工艺 | 第40-52页 |
| ·钽酸锂薄膜的制备工艺流程 | 第40-43页 |
| ·仪器装置 | 第40-41页 |
| ·基片的选择与处理 | 第41页 |
| ·钽酸锂薄膜的制备 | 第41-43页 |
| ·钽酸锂薄膜制备工艺参数的确定 | 第43-46页 |
| ·影响 LiTaO_3薄膜质量的因素 | 第46-50页 |
| ·干燥与热处理工艺的影响 | 第46-47页 |
| ·溶胶对薄膜的影响 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 钽酸锂粉体及薄膜的表征 | 第52-65页 |
| ·结构形貌分析方法 | 第52-54页 |
| ·傅立叶红外分析 | 第52-53页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第53页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第53页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第53-54页 |
| ·钽酸锂粉体的表征 | 第54-58页 |
| ·XRD 分析 | 第54-55页 |
| ·FTIR 分析 | 第55-57页 |
| ·SEM 分析 | 第57-58页 |
| ·钽酸锂薄膜的表征 | 第58-63页 |
| ·XRD 分析 | 第58-61页 |
| ·AFM 分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-73页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第73页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第73页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |