| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题背景及研究的意义 | 第11-12页 |
| ·铁电制冷原理 | 第12-13页 |
| ·铁电致冷材料的研究进展 | 第13-15页 |
| ·致冷体材料的研究进展 | 第13-14页 |
| ·致冷薄膜材料的研究进展 | 第14-15页 |
| ·BST铁电材料的概述 | 第15-17页 |
| ·BST晶体结构 | 第15-16页 |
| ·BST铁电薄膜的应用 | 第16页 |
| ·BST铁电薄膜的掺杂改性 | 第16-17页 |
| ·BST铁电薄膜的制备技术 | 第17-22页 |
| ·脉冲激光沉积技术(PLD) | 第18页 |
| ·射频磁控溅射技术(RF Magnetron Sputtering) | 第18-19页 |
| ·金属有机化学气相沉积技术(MOCVD) | 第19页 |
| ·溶胶凝胶技术(sol-gel) | 第19-22页 |
| ·本文研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 实验材料与测试方法 | 第23-27页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第23-24页 |
| ·BST溶胶制备的原料 | 第23页 |
| ·BST薄膜制备的仪器 | 第23-24页 |
| ·BST粉体分析 | 第24页 |
| ·粉体的热重/差热分析 | 第24页 |
| ·粉体的红外分析 | 第24页 |
| ·粉体的XRD分析 | 第24页 |
| ·粉体的SEM分析 | 第24页 |
| ·BST薄膜分析 | 第24-25页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第24-25页 |
| ·薄膜的SEM分析 | 第25页 |
| ·薄膜的AFM分析 | 第25页 |
| ·BST薄膜性能测试 | 第25-27页 |
| ·薄膜上电极的制备 | 第25页 |
| ·薄膜介电性能的测定 | 第25页 |
| ·薄膜铁电性能的测定 | 第25-27页 |
| 第3章 BST溶胶及粉体的制备和表征 | 第27-37页 |
| ·BST溶胶的制备 | 第27-31页 |
| ·金属化合物 | 第27-28页 |
| ·溶剂的选择 | 第28-29页 |
| ·加水量 | 第29页 |
| ·水解温度 | 第29-30页 |
| ·溶胶浓度 | 第30页 |
| ·BST溶胶制备流程 | 第30-31页 |
| ·BST粉体表征 | 第31-36页 |
| ·粉体热行为分析 | 第31-33页 |
| ·粉体红外分析 | 第33-34页 |
| ·粉体相组成分析 | 第34-35页 |
| ·粉体表面形貌分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 BST铁电薄膜的制备及分析 | 第37-65页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第37-39页 |
| ·溶胶浓度对BST薄膜的影响 | 第39-40页 |
| ·不同退火温度制备BST薄膜的分析 | 第40-48页 |
| ·XRD对相组成的分析 | 第41-45页 |
| ·SEM对形貌的分析 | 第45页 |
| ·AFM对BST形貌的分析 | 第45-48页 |
| ·不同退火时间制备BST薄膜的分析 | 第48-51页 |
| ·XRD对相组成的分析 | 第48-50页 |
| ·AFM对BST形貌的分析 | 第50-51页 |
| ·不同预烧温度制备BST薄膜的分析 | 第51-55页 |
| ·XRD对相组成的分析 | 第51-53页 |
| ·AFM对BST形貌的分析 | 第53-55页 |
| ·不同预烧时间制备BST薄膜的分析 | 第55-56页 |
| ·XRD对相组成的分析 | 第55-56页 |
| ·晶粒生长机制分析 | 第56-57页 |
| ·不同组分的BST薄膜的分析 | 第57-61页 |
| ·XRD对相组成的分析 | 第57-59页 |
| ·AFM对BST形貌的分析 | 第59-61页 |
| ·La掺杂BST的相结构 | 第61-64页 |
| ·XRD对相组成的分析 | 第61-62页 |
| ·AFM对形貌的分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 BST铁电薄膜的电热性能 | 第65-74页 |
| ·BST的介温性能测试 | 第65-68页 |
| ·BST的铁电性能测试及电热效应 | 第68-72页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的电热效应 | 第69-70页 |
| ·La掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的电热效应 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
