单晶硅纳米磨削过程的摩擦裂纹试验研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-23页
·论文的选题背景	第9-18页
·本文的研究目的与意义	第9-10页
·单晶硅的性质	第10-15页
·单晶硅纳米磨削技术概述	第15-18页
·国内外研究现状	第18-22页
·单晶硅表面微裂纹国外研究现状	第18-20页
·单晶硅表面微裂纹国内研究现状	第20-22页
·本课题的来源与研究内容	第22-23页
·课题来源	第22页
·研究内容	第22-23页
2 单晶硅纳米磨削过程微裂纹形式研究	第23-34页
·单晶硅纳米磨削表面微裂纹特征研究	第23-28页
·试验方案	第23-25页
·试验结果	第25-28页
·单晶硅纳米磨削表面微裂纹形式分析	第28-33页
·本章小结	第33-34页
3 加工条件对单晶硅表面摩擦裂纹扩展的影响	第34-54页
·单颗磨粒磨削试验	第34-40页
·试验方案设计	第34-36页
·试验条件	第36-37页
·检测方法	第37-40页
·试验结果及讨论	第40-53页
·单晶硅晶面及晶向对摩擦裂纹的影响	第40-45页
·磨粒切削深度对摩擦裂纹的影响	第45-53页
·本章小结	第53-54页
4 单晶硅纳米磨削过程的摩擦裂纹形成机理	第54-64页
·单晶硅表面摩擦裂纹损伤模型	第54-57页
·单晶硅表面摩擦裂纹的扩展机制	第57-63页
·本章小结	第63-64页
结论	第64-66页
参考文献	第66-70页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第70-71页
致谢	第71-72页