| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| ·激光对硅材料损伤研究的背景和意义 | 第7页 |
| ·硅材料激光损伤机理 | 第7-8页 |
| ·硅材料激光损伤的定义和分类 | 第8-9页 |
| ·硅材料对激光的吸收 | 第9-17页 |
| ·国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 第二章 拉曼散射的原理 | 第19-36页 |
| ·拉曼光谱概述 | 第19-21页 |
| ·拉曼散射的经典解释 | 第21-26页 |
| ·拉曼散射的量子解释 | 第26-32页 |
| ·拉曼光谱技术 | 第32-34页 |
| ·拉曼光谱技术在半导体硅上的应用 | 第34-36页 |
| 第三章 单晶硅拉曼光谱模拟 | 第36-49页 |
| ·Gaussian功能介绍 | 第36-37页 |
| ·Gaussian计算原理 | 第37-39页 |
| ·概述 | 第37页 |
| ·分子力学方法 | 第37-38页 |
| ·电子结构理论 | 第38-39页 |
| ·Gaussian频率计算 | 第39-41页 |
| ·单晶硅拉曼光谱的模拟 | 第41-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 单晶硅的拉曼光谱检测 | 第49-55页 |
| ·实验装置 | 第49-50页 |
| ·单晶硅的拉曼散射实验 | 第50-53页 |
| ·分析讨论 | 第53-55页 |
| 总结 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |