MEMS扭转微镜的力学特性分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·选题的目的和意义 | 第10-15页 |
| ·MEMS概述 | 第10-13页 |
| ·选题的目的和意义 | 第13-15页 |
| ·课题的发展状况 | 第15-18页 |
| ·MEMS的国内外研究概况 | 第15-16页 |
| ·扭转微镜的国内外研究概况 | 第16-18页 |
| ·课题研究内容 | 第18-20页 |
| ·扭转微镜的工作原理 | 第18-19页 |
| ·课题研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 迭代修正齐次扩容精细积分法 | 第20-32页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·齐次扩容精细积分法 | 第20-24页 |
| ·精细积分法 | 第20-22页 |
| ·齐次扩容精细积分法 | 第22-24页 |
| ·迭代修正齐次扩容精细积分法 | 第24-30页 |
| ·非线性动力方程的齐次扩容精细积分法 | 第24-26页 |
| ·迭代修正齐次扩容精细积分法 | 第26-28页 |
| ·数值算例 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 微镜力学模型及数值计算方法 | 第32-50页 |
| ·扭转微镜系统中的力学问题 | 第32-35页 |
| ·机械振动 | 第32-33页 |
| ·静电力的尺度效应 | 第33-34页 |
| ·微结构梁的静态变形分析 | 第34-35页 |
| ·不考虑边缘效应时微镜的力学特性分析 | 第35-41页 |
| ·微镜力学模型 | 第35-36页 |
| ·两种模型的静态特性比较 | 第36-39页 |
| ·两种模型的动态特性比较 | 第39-41页 |
| ·微镜的边缘效应 | 第41-45页 |
| ·平行板电容的边缘效应 | 第41-42页 |
| ·考虑边缘效应时的微镜模型 | 第42-45页 |
| ·数值积分法近似计算驱动力 | 第45-49页 |
| ·Romberg数值积分法 | 第45-48页 |
| ·用 Romberg数值积分法计算驱动力的比较 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 计及边缘效应的扭转微镜力学特性分析 | 第50-71页 |
| ·微镜静态特性分析 | 第50-57页 |
| ·边缘效应对微镜静态特性的影响 | 第50-56页 |
| ·影响微镜静态特性的因素 | 第56-57页 |
| ·边缘效应对微镜吸合特性的影响 | 第57-59页 |
| ·微镜吸合特性 | 第57-58页 |
| ·边缘效应对微镜吸合特性的影响 | 第58-59页 |
| ·微镜动态特性分析 | 第59-69页 |
| ·边缘效应对微镜动态特性的影响 | 第59-64页 |
| ·阶跃激励下微镜的动态响应特性 | 第64-67页 |
| ·微镜的正弦激励响应特性 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 个人简历 | 第78页 |
