摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-7页 |
第一章 序言 | 第7-16页 |
·GaN材判及其器件研究目的和意义 | 第7页 |
·GaN材料的基本性质及其生长 | 第7-10页 |
·GaN器件的研究历史及现状 | 第10-11页 |
·p-GaN欧姆接触 | 第11-15页 |
·论文的工作安排 | 第15-16页 |
第二章 p-GaN材料的生长和欧姆接触测量 | 第16-29页 |
·p-GaN材料的生长 | 第16-19页 |
·欧姆接触 | 第19-22页 |
·比接触电阻的测量 | 第22-28页 |
·本章小结 | 第28-29页 |
第三章 Ni/Au在p-GaN欧姆接触特性的研究 | 第29-42页 |
·Au/Ni/p-GaN欧姆接触的研究概况 | 第29页 |
·早期Au/Ni/p-GaN的研究结果 | 第29-34页 |
·改变表面处理方法对p-GaN欧姆接触特性的影响 | 第34-37页 |
·Au(5nm)/Ni(5nm)/p-GaN欧姆接触的机理分析 | 第37-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
第四章 Ag/Ni/p-GaN欧姆接触的研究 | 第42-54页 |
·Ag基欧姆接触的研究概况 | 第42页 |
·Ni/Ag欧姆接触的电学测量 | 第42-46页 |
·Ag/Ni/p-GaN欧姆接触的机理分析 | 第46-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
结论 | 第54-55页 |
致谢 | 第55-56页 |
参考文献 | 第56-57页 |