高精度线性衍射光栅干涉仪系统的研制
| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| ·研究的动机与目的 | 第13页 |
| ·文献回顾 | 第13-19页 |
| ·研究方法与内容概要 | 第19-20页 |
| 第二章 光栅干涉仪的测量原理 | 第20-29页 |
| ·概述 | 第20页 |
| ·光栅的衍射效应 | 第20-21页 |
| ·光栅多普勒频移 | 第21-24页 |
| ·Doppler效应 | 第21-22页 |
| ·衍射光栅的Doppler频移 | 第22-24页 |
| ·测量原理 | 第24-29页 |
| ·经典干涉理论 | 第24-27页 |
| ·差频干涉 | 第27页 |
| ·光栅干涉仪位移转换原理 | 第27-29页 |
| 第三章 读数头系统之设计 | 第29-48页 |
| ·概述 | 第29页 |
| ·光学读数头设计理念 | 第29-30页 |
| ·纳米级干涉仪设计的一般原则 | 第29页 |
| ·光栅干涉仪的设计理念 | 第29-30页 |
| ·偏振光学原理及琼斯矩阵 | 第30-34页 |
| ·光栅干涉仪系统架构 | 第34-41页 |
| ·光学系统简介 | 第34-35页 |
| ·光学尺系统的理论推导 | 第35-41页 |
| ·关键元件之说明 | 第41-46页 |
| ·半导体激光器 | 第41-42页 |
| ·全息光栅 | 第42-43页 |
| ·光学镜组元件 | 第43-44页 |
| ·光电探测器 | 第44-46页 |
| ·读数头的机构设计 | 第46-48页 |
| 第四章 公差分析 | 第48-61页 |
| ·概述 | 第48页 |
| ·读数头与光栅对位公差分析 | 第48-54页 |
| ·光栅偏摆 | 第48-52页 |
| ·偏摆 | 第49页 |
| ·翻滚 | 第49-50页 |
| ·俯仰 | 第50-51页 |
| ·远离 | 第51-52页 |
| ·侧移 | 第52页 |
| ·LightTools分析模型 | 第52-54页 |
| ·光学元件不良对位对光学尺的影响 | 第54-61页 |
| ·1/4波片不完美对位的影响 | 第54-58页 |
| ·1/2波片不完美对位的影响 | 第58-61页 |
| 第五章 信号处理 | 第61-69页 |
| ·概述 | 第61页 |
| ·电路设计 | 第61-67页 |
| ·电流电压转换电路 CVC | 第62-63页 |
| ·自动正交电路设计 | 第63-64页 |
| ·MFB无限增益多端反馈低通滤波器的设计 | 第64-66页 |
| ·印制电路板的制作 | 第66-67页 |
| ·信号计数及其细分 | 第67-69页 |
| ·计数及辨向原理 | 第67-68页 |
| ·细分原理 | 第68-69页 |
| 第六章 光学尺系统组装及性能测试 | 第69-80页 |
| ·概述 | 第69页 |
| ·光学头系统调整及组装 | 第69-74页 |
| ·元件的粘合方式 | 第69页 |
| ·光学调整及组装步骤 | 第69-74页 |
| ·光学尺信号 | 第74页 |
| ·光学尺性能测试 | 第74-78页 |
| ·测量误差分析 | 第78-80页 |
| 第七章 结论与未来展望 | 第80-81页 |
| ·结论 | 第80页 |
| ·未来展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第84页 |
