| 独创性说明 | 第1-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·选题意义 | 第10页 |
| ·类金刚石碳膜的成分和结构 | 第10-13页 |
| ·类金刚石碳膜的制备方法 | 第13-16页 |
| ·离子束沉积法 | 第14页 |
| ·磁控溅射法 | 第14-15页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第15页 |
| ·真空阴极弧沉积法 | 第15页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积法 | 第15-16页 |
| ·类金刚石碳膜的性能 | 第16-19页 |
| ·DLC膜的电学性能 | 第16页 |
| ·DLC膜的光学性能 | 第16页 |
| ·DLC膜的化学性能和生物相容性 | 第16页 |
| ·DLC膜的机械性能 | 第16-18页 |
| ·DLC膜的摩擦学性能 | 第18-19页 |
| ·类金刚石碳膜的应用 | 第19-20页 |
| ·类金刚石碳膜在应用中存在的问题及解决方法 | 第20-21页 |
| ·多层膜技术 | 第20页 |
| ·金属掺杂 DLC | 第20-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 实验设备及分析方法 | 第22-28页 |
| ·实验设备 | 第22-24页 |
| ·DLC膜制备系统简介 | 第22-23页 |
| ·射频自负偏压测试系统简介 | 第23-24页 |
| ·DLC膜的制备工艺 | 第24页 |
| ·基体材料及准备 | 第24页 |
| ·DLC膜的制备工艺 | 第24页 |
| ·分析方法 | 第24-28页 |
| ·表面形貌分析 | 第24-25页 |
| ·EPMA成分分析 | 第25页 |
| ·XRD分析 | 第25页 |
| ·激光 Raman光谱分析 | 第25-27页 |
| ·薄膜硬度和弹性模量的测试 | 第27-28页 |
| 3 射频自负偏压的测定及RF-PECVD法制备 DLC膜 | 第28-36页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·射频自负偏压的测定 | 第28-33页 |
| ·射频功率和工作气压及气氛对射频自负偏压的影响 | 第29-32页 |
| ·讨论 | 第32-33页 |
| ·RF-PECVD法制备 DLC膜 | 第33-35页 |
| ·RF-PECVD法制备 DLC膜的结构和性能 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 FCVA制备含 Cr的 DLC膜 | 第36-44页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·FCVA制备含 Cr的 DLC膜(Cr-DLC)的成分、结构和性能 | 第37-43页 |
| ·Cr-DLC膜的形貌和厚度 | 第38页 |
| ·Cr-DLC膜的成分 | 第38-39页 |
| ·Cr-DLC膜的结构 | 第39-41页 |
| ·Cr-DLC膜的性能 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第53页 |